[实用新型]棱镜光束平移平行差测量装置有效
申请号: | 202121719230.5 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN215114437U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 刘孟阳;唐萍 | 申请(专利权)人: | 上海伟钊光学科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 上海港慧专利代理事务所(普通合伙) 31402 | 代理人: | 卞小婷 |
地址: | 201822 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 棱镜 光束 平移 平行 测量 装置 | ||
本实用新型公开了一种棱镜光束平移平行差测量装置,包括测试光源,用以输出一检测光信号;承载台,设置于沿所述检测光信号前进方向、且与所述测试光源相邻设置,用以承载一棱镜,所述棱镜接收所述检测光信号,并对所述检测光信号做折射和/或反射处理以形成一输出光信号;显示单元,设置于所述输出光信号前进方向、且于所述承载台间隔一预定距离,用以显示所述输出光信号。该棱镜光束平移平行差测量装置,通过设置测试光源、承载台及显示单元形成的测试装置,能够快速、准确测量微小棱镜的光束平行差。
技术领域
本实用新型涉及精密光学测量技术领域,具体为一种棱镜光束平移平行差测量装置。
背景技术
精密光学仪器及设备使用微小而高精度的平移棱镜,在光路中插入平移棱镜后,光束被平行移位。平移棱镜的截面形状有多种,例如斜方棱镜、菱形棱镜、潜望棱镜、六角棱镜、矩形棱镜,或者非单体的胶合棱镜,此类平移棱镜加工和检测的要求较高。典型的如斜方棱镜,如图1和图2所示,图1为斜方棱镜的结构图,左侧的平行光束来光经棱镜的第一入射面1’及第一出射面2’透射及第一反射面3’及第二反射面4’反射后出射,出射光束向下方平移一段距离,如果在第一反射面3’或第二反射面4’镀膜,又可起到偏振分束器PBS(Polarization Beam Splitter)或干涉滤光器WDM(Wavelength Division Multiplex)的作用。但经斜方棱镜出射光的方向和未插入棱镜时的光束方向之间,可能产生角度为α的偏差或“平行差”。对于要求高的应用场合,这种平行差要达到秒级。
图2为斜方棱镜的立体结构图,斜方棱镜的典型尺寸长、宽及高为0.7*0.7*0.7mm,∠A和∠B为45°,第一反射面3’及第二反射面4’为边长为1mm的斜边。斜方棱镜的加工过程,第一步以较大的平板玻璃先抛光出第一反射面3’及第二反射面4’,平行差可达到秒级,将大片切割成细长条后,以45°角加工出第一入射面1,然后以“光胶”工艺,加工第一出射面2。由于上盘定位面尺寸过小,上盘、加工后实际的第一入射面1和第一出射面2的平行差可能进入分级,由于棱镜的尺寸小,采用比较测角仪、平面干涉仪等传统的测量方法难以测量,或测量效率很低。
实用新型内容
针对现有检测技术的不足,本实用新型提供了一种棱镜光束平移平行差测量装置,能够快速、准确测量微小棱镜的光束平行差。
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:棱镜光束平移平行差测量装置,包括:
测试光源,用以输出一检测光信号;
承载台,设置于沿所述检测光信号前进方向、且与所述测试光源相邻设置,用以承载一棱镜,所述棱镜接收所述检测光信号,并对所述检测光信号做折射和/或反射以形成一输出光信号;
显示单元,设置于所述输出光信号前进方向、且于所述承载台间隔一预定距离,用以显示所述输出光信号。
较佳地,还包括一检测装置,设置于所述测试光源与所述承载台之间,用以控制所述检测光信号的输入状态。
较佳地,所述检测装置中间设置光孔,所述光孔用以控制所述检测光信号的入射垂直度;
所述棱镜接收检测光信号并对检测光信号做折射和/或反射以形成输出光信号。
较佳地,所述承载台为测试旋转台。
较佳地,于所述测试旋转台的一端设置有一支撑装置,所述棱镜与支撑装置相邻设置。
较佳地,所述测试旋转台包括一容纳所述棱镜的阶梯台面,所述棱镜设置于阶梯台面上。
更佳地,所述测试旋转台用以调节所述棱镜以使得测试光源于所述显示单元上形成测试光斑。
较佳地,所述显示单元为光斑分析仪。
较佳地,所述测试光源为光纤准直器或氦氖激光器或准直输出的激光笔。
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