[实用新型]一种基于射频前端模块制造的集成电路清洁装置

权利要求书

1.一种基于射频前端模块制造的集成电路清洁装置，包括夹持机构(100)、除尘机构(200)和集成电路板(3)，其特征在于，所述集成电路板(3)位于除尘机构(200)的下方，所述除尘机构(200)位于夹持机构(100)的外侧；

所述夹持机构(100)包括固定座(101)，所述固定座(101)顶部的右侧固定连接有支撑架(102)，所述固定座(101)的顶部固定连接有固定螺架(103)，所述固定螺架(103)的内侧螺纹连接有螺纹杆(104)，所述螺纹杆(104)的底端固定连接有滚动轴承(105)，所述滚动轴承(105)的底部固定连接有活动夹块(106)，所述活动夹块(106)的底部固定连接有橡胶垫(107)，所述螺纹杆(104)的顶端固定连接有活动转柄(108)。

2.如权利要求1所述的一种基于射频前端模块制造的集成电路清洁装置，其特征在于，所述除尘机构(200)包括收集箱(201)，所述收集箱(201)的顶部固定连接有吸尘机(202)，所述吸尘机(202)的出口处固定连接有进料管(203)。

3.如权利要求2所述的一种基于射频前端模块制造的集成电路清洁装置，其特征在于，所述吸尘机(202)的进口处固定连接有固定管(204)，所述固定管(204)的左端固定连接有连接软管(205)。

4.如权利要求3所述的一种基于射频前端模块制造的集成电路清洁装置，其特征在于，所述连接软管(205)远离固定管(204)的一端固定连接有吸尘罩(206)，所述收集箱(201)的正面活动连接有密封门(207)。

5.如权利要求1所述的一种基于射频前端模块制造的集成电路清洁装置，其特征在于，所述支撑架(102)的左侧固定连接有电动推杆(109)，所述电动推杆(109)的左端固定连接有活动推块(110)。

6.如权利要求5所述的一种基于射频前端模块制造的集成电路清洁装置，其特征在于，所述活动推块(110)的底部固定连接有电动伸缩杆(111)，所述活动推块(110)的顶部固定连接有滑动块(112)。

7.如权利要求2所述的一种基于射频前端模块制造的集成电路清洁装置，其特征在于，所述固定座(101)的右侧固定连接有收集箱(201)，所述固定螺架(103)的顶部活动连接有集成电路板(3)。