[实用新型]高温电化学测试系统有效
申请号: | 202121668243.4 | 申请日: | 2021-07-21 |
公开(公告)号: | CN215493298U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 陈迪;赵云;刘鹏 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26;G01N1/44 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 赵丽婷 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高温 电化学 测试 系统 | ||
1.一种高温电化学测试系统,其特征在于,包括:
电化学测试仪器;
底座,所述底座中部设有沿其长度方向布置的滑轨,所述底座的一端设有第一支架;
样品测试腔,所述样品测试腔靠近所述第一支架的一端为第一端,远离所述第一支架的一端为第二端,所述第一端为开口设置,所述第一端通过第一密封法兰与所述第一支架可拆卸相连,所述第一密封法兰设在所述第一支架上,所述第一密封法兰上设有接线端子;
支撑测试装置,所述支撑测试装置伸入所述样品测试腔内,所述支撑测试装置包括金属支架、样品支撑台、金属探针、探针支架、探针臂和热电偶,其中:
所述样品支撑台通过所述金属支架与所述第一密封法兰相连,所述样品支撑台上远离所述金属支架的一端设有铂片,所述铂片与贯穿所述样品支撑台的第一金属导线相连,所述铂片适于与待测样品的对电极接触;
所述探针支架设在所述样品支撑台上,所述探针臂沿所述样品支撑台的长度方向布置,所述探针臂穿过所述探针支架且可沿所述样品支撑台的长度方向移动,所述探针臂的一端通过拉紧弹簧与所述金属支架相连,所述金属探针固定在所述探针臂的另一端,所述金属探针与贯穿所述探针臂的第二金属导线相连,所述拉紧弹簧始终处于拉伸状态,所述金属探针适于与待测样品的图案电极接触并通过所述拉紧弹簧将所述待测样品固定在所述铂片和所述金属探针之间;
所述第一金属导线和所述第二金属导线通过所述接线端子与所述电化学测试仪器相连;
所述热电偶的测温端通过所述接线端子伸入所述样品测试腔内并贯穿所述样品支撑台,所述热电偶的测温端邻近待测样品布置;
高温炉,所述高温炉为电热炉,所述高温炉包括炉体和炉架,所述炉体套设在所述样品测试腔外,所述样品测试腔外表面和所述炉体内表面之间设有金属屏蔽层,所述炉架上部与所述炉体相连,所述炉架下部与所述滑轨相连,所述高温炉适于通过所述炉架带动所述样品测试腔沿所述滑轨滑动。
2.根据权利要求1所述的高温电化学测试系统,其特征在于,满足以下条件中的至少之一:所述高温炉套设在所述样品测试腔的中部、所述第一密封法兰为水冷法兰、所述电化学测试仪器为阻抗谱仪、所述热电偶为S型热电偶、所述拉紧弹簧通过设在所述金属支架上的拉紧螺钉与所述金属支架相连。
3.根据权利要求1所述的高温电化学测试系统,其特征在于,所述支撑测试装置进一步包括进气管和出气管:
所述进气管贯穿所述第一密封法兰并延伸至所述样品测试腔内远离所述第一支架的一侧,所述出气管贯穿所述第一密封法兰并设在所述样品测试腔内靠近所述第一支架的一侧;或者,
所述样品测试腔的第二端为非开口设置,所述进气管贯穿所述第一密封法兰并设在所述样品测试腔内靠近所述第一支架的一侧,所述第二端设有出气口,所述出气管与所述出气口相连。
4.根据权利要求1或2所述的高温电化学测试系统,其特征在于,所述底座的另一端设有第二支架,所述第二支架与所述底座可拆卸相连;和/或,所述第二支架可沿所述底座的长度方向滑动;
所述样品测试腔的第二端为开口设置,所述第二端通过第二密封法兰与所述第二支架相连。
5.根据权利要求4所述的高温电化学测试系统,其特征在于,所述支撑测试装置进一步包括进气管和出气管,所述进气管贯穿所述第一密封法兰并伸入所述样品测试腔内,所述出气管贯穿所述第二密封法兰,所述第二密封法兰为水冷法兰。
6.根据权利要求3或5所述的高温电化学测试系统,其特征在于,进一步包括:气体质量流量控制器,所述进气管通过所述气体质量流量控制器与供气装置相连。
7.根据权利要求6所述的高温电化学测试系统,其特征在于,进一步包括:加湿器,所述进气管通过所述加湿器与所述气体质量流量控制器相连。
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