[实用新型]一种应用于UV解胶机冲氮气的治具有效
| 申请号： | 202121650295.9 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN215008165U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吴临红;宁周萍;吴洪;刘辉;刘敏;刘功豪;林鸳;王健龙;任凯平;洪坚 | 申请（专利权）人： | 江西水晶光电有限公司;江西晶创科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 程嘉炜 |
| 地址： | 335000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 uv 解胶机冲 氮气 | ||
1.一种应用于UV解胶机冲氮气的治具，包括治具本体(1)，其特征在于：所述治具本体(1)的形状为圆柱形，所述治具本体(1)的表面设置有安装槽(2)和密封面(4)，所述安装槽(2)的形状为圆形，所述安装槽(2)的底部开设有径向对称的充氮气口(3)，所述密封面(4)的表面固定镶嵌有强磁铁(5)，所述治具本体(1)的侧面设有凸边(6)，所述凸边(6)的表面固定连接有挡边(7)，所述挡边(7)与凸边(6)之间的夹角为九十度，所述挡边(7)的长度与凸边(6)的宽度相同。
2.根据权利要求1所述的一种应用于UV解胶机冲氮气的治具，其特征在于：所述强磁铁(5)采用磁性材料制成，所述强磁铁(5)的形状为圆柱形，所述强磁铁(5)的长度小于治具本体(1)的厚度，所述强磁铁(5)的一端表面与密封面(4)的表面处于同一平面。
3.根据权利要求1所述的一种应用于UV解胶机冲氮气的治具，其特征在于：所述凸边(6)的数量为三个，且呈弧形分布，所述凸边(6)的厚度与治具本体(1)的厚度相同。
4.根据权利要求1所述的一种应用于UV解胶机冲氮气的治具，其特征在于：所述密封面(4)的形状为圆环形，三个所述挡边(7)的合围最大内径与密封面(4)的最大外径相同。
5.根据权利要求1所述的一种应用于UV解胶机冲氮气的治具，其特征在于：所述挡边(7)的一侧面设有倾斜面(71)，所述倾斜面(71)的倾斜角度为十度到十五度之间。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
