[实用新型]一种硅片切割用全自动激光切割设备有效

专利信息
申请号: 202121639929.0 申请日: 2021-07-19
公开(公告)号: CN215468924U 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 戴立新;冯立康;方明;戴薇;朱计生;戴劲 申请(专利权)人: 黄山市七七七电子有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 匡立岭
地址: 245000 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 切割 全自动 激光 设备
【权利要求书】:

1.一种硅片切割用全自动激光切割设备,包括机台本体(1),所述机台本体(1)的表面转动连接有箱门(2),其特征在于:所述机台本体(1)内腔的底部滑动连接有硅片吸附座(3),所述机台本体(1)内腔的顶部固定连接有激光切割头(4),所述激光切割头(4)的表面固定连接有吹风圈(5),所述吹风圈(5)的表面开设有吹风口(6),所述硅片吸附座(3)的表面环绕有吸收箱(7),所述机台本体(1)的内腔固定连接有吹风机(8),所述吹风机(8)的吹风端连通有吹风管道(9),所述吹风管道(9)的一端与吹风圈(5)的内腔连通,所述吸收箱(7)的底部固定连接有过滤箱(10),所述吹风机(8)的抽风端连通有抽风管道(11),所述抽风管道(11)的一端与过滤箱(10)的表面连通,所述吸收箱(7)的表面开设有空槽(12),所述空槽(12)的内腔活动连接有过滤网架(13)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割用全自动激光切割设备,其特征在于:所述过滤网架(13)为环状圆台型,所述过滤网架(13)延伸至吸收箱(7)的内腔,所述过滤网架(13)的顶部固定连接有外径大于空槽(12)的限位板。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割用全自动激光切割设备,其特征在于:所述过滤箱(10)的内腔固定连接有斜过滤板(14)。

4.根据权利要求3所述的一种硅片切割用全自动激光切割设备,其特征在于:所述过滤箱(10)的底部连通有排渣管道(15),所述排渣管道(15)位于斜过滤板(14)的左侧,所述排渣管道(15)的内腔活动连接有密封塞。

5.根据权利要求1所述的一种硅片切割用全自动激光切割设备,其特征在于:所述机台本体(1)的内腔固定连接有驱动电机,驱动电机的输出轴固定连接有与硅片吸附座(3)的内腔螺纹连接的螺纹杆。

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