[实用新型]一种纳米镀膜机的入口管道防堆积结构

说明书

本实用新型公开了一种纳米镀膜机的入口管道防堆积结构，涉及纳米镀膜机装置技术领域。本实用新型包括设置在纳米镀膜机舱壁上的材料入口管道、以及套设在材料入口管道外侧的管状的加热组件；加热组件包括两个对称设置的加热模块，加热模块包括一弧形板，弧形板的两侧分别设置有固定边，弧形板的内侧壁设置有一隔热层，隔热层的内侧壁沿弧形板的设置有若干加热机构。本实用新型通过在材料入口管道外侧设置加热组件，改变入口处温度环境，降低材料附着残留量，从而避免材料入口处发生堵塞，提高镀膜效率，降低材料浪费，减少设备运行周期内人工使用成本。

技术领域

本实用新型属于纳米镀膜机装置技术领域，特别是涉及一种纳米镀膜机的入口管道防堆积结构。

背景技术

现有纳米镀膜机属于CVD真空气相沉积工艺，在舱壁上需要焊接材料入口管道，管道接口采用KF接口与高温裂解管道相连，舱壁材料入口与真空舱体相通。

因纳米镀膜是高分子材料蒸发裂解，常温气相沉积原理，真空沉积舱体内为常温环境，故材料入口处经常会发生堵塞影响镀膜效率，浪费材料，维护保养频繁，提升了设备周期运行内人工成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种纳米镀膜机的入口管道防堆积结构，通过加热组件的设置，解决了现有材料入口处经常会发生堵塞影响镀膜效率的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种纳米镀膜机的入口管道防堆积结构，包括设置在纳米镀膜机舱壁上的材料入口管道、以及套设在材料入口管道外侧的管状的加热组件；所述加热组件包括两个对称设置的加热模块，所述加热模块包括一弧形板，所述弧形板的两侧分别设置有固定边，所述弧形板的内侧壁设置有一隔热层，所述隔热层的内侧壁沿弧形板的设置有若干加热机构。

进一步地，所述弧形板为陶瓷壳体，所述隔热层为石棉层。

进一步地，所述加热机构为一加热丝、且所述加热丝沿所述弧形板的轴向方向设置。

进一步地，还包括一设在隔热层内侧壁的热电偶，所述热电偶贯穿隔热层和弧形板，所述热电偶和加热机构均与一PLC控制器连接。

进一步地，两所述加热模块之间还设置有一缓冲保温组件，任意一所述缓冲保温组件均位于对称设置的两加热模块上的固定边之间。

进一步地，所述缓冲保温组件包括底板一和底板二；所述底板一和底板二的相对侧面分别设置有相互配合的管状的套接部一和套接部二；所述固定边的两端分别设置有一贯穿孔一，所述底板一和底板二上分别设置有与贯穿孔一配合呈同心结构的贯穿孔二和贯穿孔三。

进一步地，所述贯穿孔一的直径大于贯穿孔二的直径，所述贯穿孔二和贯穿孔三的直径相同；且所述贯穿孔二和贯穿孔三之间还连接有一金属波纹管。

进一步地，两所述加热模块通过螺栓组件连接；所述螺栓组件包括一贯穿贯穿孔一、贯穿孔二和贯穿孔三的螺杆，以及螺纹连接在所述螺杆端部的锁紧螺母。

进一步地，所述底板一和/或底板二的外侧壁均至少设置有两定位柱；所述固定边上设置有与定位柱配合的定位盲槽。

进一步地，所述底板一、底板二、套接部一和套接部二均为陶瓷件。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过在材料入口管道外侧设置加热组件，改变入口处温度环境，降低材料附着残留量，从而避免材料入口处发生堵塞，提高镀膜效率，降低材料浪费，减少设备运行周期内人工使用成本。

2、本实用新型通过由弧形板、加热机构以及缓冲保温组件组成的加热组件，结构简单，安装方便。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明