[实用新型]一种节能型半导体涂层再生用喷砂机有效

专利信息
申请号: 202121617686.0 申请日: 2021-07-16
公开(公告)号: CN214869833U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 刘洪刚;姜勇鹤 申请(专利权)人: 安徽高芯众科半导体有限公司
主分类号: B24C3/22 分类号: B24C3/22;B24C3/32;B24C3/04
代理公司: 深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728 代理人: 刘英
地址: 247100 安徽省池州市直*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 节能型 半导体 涂层 再生 喷砂机
【说明书】:

实用新型公开了一种节能型半导体涂层再生用喷砂机,包括喷砂机外壳和喷砂机壳盖,所述喷砂机壳盖设置于喷砂机外壳的一侧,所述喷砂机外壳内设有安装盘,所述安装盘的上方设有旋转盘,所述旋转盘和安装盘之间通过驱动电机连接,所述旋转盘的上方设有固定转盘,所述安装盘的顶部开设有环形凹槽,所述旋转盘的顶部开设有两个通孔,所述通孔内设有固定柱,所述固定柱的底端延伸至旋转盘的下方。本实用新型所述的一种节能型半导体涂层再生用喷砂机,属于半导体加工设备技术领域,增加了固定转盘旋转时的稳定性,以及不需要手动驱动固定转盘转动,便于实际操作,可以根据实际需求,调节固定转盘的高度。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,特别涉及一种节能型半导体涂层再生用喷砂机。

背景技术

喷砂处理,是一种工件表面处理的工艺。采用压缩空气为动力,以形成高速喷射束将喷料(铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂、海砂)高速喷射到需处理工件表面,使工件表面的外表或形状发生变化。由于磨料对工件表面的冲击和切削作用,使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度,使工件表面的机械性能得到改善,在半导体加工过程中,需要将上面的瓷板喷涂一层砂浆,需要工人不停地转动转盘,使得半导体转动,劳动强度大,喷砂效果不好,不便于实际使用。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种节能型半导体涂层再生用喷砂机,可以有效解决背景技术中需要工人不停地转动转盘,使得半导体转动,劳动强度大,喷砂效果不好,不便于实际使用的问题。

为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:

一种节能型半导体涂层再生用喷砂机,包括喷砂机外壳和喷砂机壳盖,所述喷砂机壳盖设置于喷砂机外壳的一侧,所述喷砂机外壳内设有安装盘,所述安装盘的上方设有旋转盘,所述旋转盘和安装盘之间通过驱动电机连接,所述旋转盘的上方设有固定转盘,所述安装盘的顶部开设有环形凹槽,所述旋转盘的顶部开设有两个通孔,所述通孔内设有固定柱,所述固定柱的底端延伸至旋转盘的下方,且两个所述固定柱的底部通过定位环连接,所述定位环和环形凹槽相配合,所述固定柱与通孔的内壁固定连接,所述固定柱的顶部开设有螺纹槽,所述螺纹槽内设有螺纹柱,所述螺纹柱的顶端延伸至固定柱的上方,且所述螺纹柱的顶端与固定转盘的底部通过轴承连接。

作为本技术方案的进一步描述:所述驱动电机的底部固定连接有第一安装板,所述驱动电机的顶部固定连接有第二安装板,所述第一安装板和安装盘通过若干第一固定螺栓连接,所述第二安装板和旋转盘通过若干第二固定螺栓连接。

作为本技术方案的进一步描述:所述旋转盘和固定转盘之间设有两个把手,所述把手的一端与螺纹柱固定连接。

作为本技术方案的进一步描述:所述安装盘的顶部开设有若干安装孔,所述安装盘和喷砂机外壳通过若干第三固定螺栓连接。

作为本技术方案的进一步描述:所述定位环位于环形凹槽内。

作为本技术方案的进一步描述:所述喷砂机壳盖的一侧设有观察窗。

与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:通过驱动电机驱动旋转盘转动,进而使得固定转盘转动,旋转盘转动时,固定柱驱动定位环在环形凹槽内转动,通过环形凹槽和定位环的配合,使得旋转盘平稳的转动,避免旋转盘倾斜晃动,进而增加了固定转盘旋转时的稳定性,以及不需要手动驱动固定转盘转动,便于实际操作,通过驱动螺纹柱转动,改变螺纹柱位于螺纹槽内的长度,进而可以调节固定转盘的高度,通过驱动第一固定螺栓脱离第一安装板和安装盘,驱动第二固定螺栓脱离第二安装板和旋转盘,即可完成对驱动电机的拆除,便于后期对驱动电机进行更换检修,便于实际使用,通过设置的把手,便于驱动螺纹柱转动,通过设置的观察窗,便于观察喷砂机外壳内的情况。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

图2为本实用新型的驱动电机结构示意图;

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