[实用新型]一种光学头校准调整机构

说明书

本实用新型公开了一种光学头校准调整机构，其包括：调平板，包括至少三个位于直角三角形端点处的调平孔；机座，其与所述调平板间隔设置，且所述机座上设有与所述调平孔所对应的连接孔；三个固定螺丝，其与所述调平孔对应，且每个固定螺丝穿设在所述调平孔内，且至少部分固定在所述连接孔内；至少三个调整螺丝，其设于所述调平孔内，并套设在所述固定螺丝上，且所述调整螺丝可沿所述固定螺丝轴向移动；所述调平板上设有锁紧机构，其用于锁紧所述调整螺丝。本实用新型实施例中通过简单的机构解决了校准调整机构多方向之间互相干涉的问题。

技术领域

本实用新型属于光学检测领域，特别是涉及一种光学头校准调整机构。

背景技术

在半导体等高精度设备中，通常会采用光学检测系统作为检测设备来使用。光学检测系统在实际应用中对精度有较高要求，因此在检测前需要对光学检测系统的光学头位置和角度进行校准。所以光学检测系统会配备与光学头连接的校准调整机构。参见图5所示，当光学检测系统受到外界环境影响产生微小的移动时，需要对光学头和被测物之间做Pitch和Yaw两个方向上的高精度调整。为了实现上述两个方向上的高精度调平，就需要对光学头进行校准调整。而光学头的校准调整需要保证其较高调整精度的同时还需要保证其在调整一个方向时不会影响光学头在另一个方向的精度。传统技术中光学头的校准调整结构多方向调整时容易互相干扰，且调整的精度也难以达到需求。

实用新型内容

针对现有技术中存在的缺陷，本实用新型提供了一种光学头校准调整机构，其用于解决相关技术中光学头校准调整机构的结构过于复杂且对两个方向进行校准调整时容易互相影响的问题。

为达到以上目的，本实用新型采取的技术方案是提供一种光学头校准调整机构，包括：调平板，其上设有三个调平孔，所述三个调平孔之间的连线可围成一个直角三角形，所述每个调平孔位于所述直角三角形的端点处；机座，其与所述调平板间隔设置，且所述机座上设有与所述调平孔所对应的连接孔；三个固定螺丝，其与所述调平孔所对应，且每个固定螺丝穿设在所述调平孔内，且至少部分固定在所述连接孔内；三个调整螺丝，其设于所述调平孔内，并套设在所述固定螺丝上，且所述调整螺丝可沿所述固定螺丝轴向移动；所述调平板上设有锁紧机构，其用于锁紧所述调整螺丝。

一些实施例中，所述调平孔包括：第一调整孔、第二调整孔以及位于所述第一调整孔和所述第二调整孔之间的固定孔。

一些实施例中，所述调平板大致成一个矩形板件，所述第一调整孔、第二调整孔和固定孔分别位于所述矩形板件的角部，其中所述第一调整孔和第二调整孔分别位于所述矩形板件成斜对称的两个角部一些实施例中，调平板的矩形面上设有调平孔的角部沿矩形面的侧边向外延申形成凸起。

一些实施例中，调平板的矩形板件上的角部沿矩形面的侧边向外延申形成延伸部，所述延伸部上设有调平孔。

一些实施例中，调整螺丝为细牙螺丝。

一些实施例中，所述锁紧机构为设置在所述调平板中的锁紧螺丝，所述锁紧螺丝的中心轴与所述固定螺丝的中心轴相互垂直，所述锁紧螺丝可用于压紧所述调平孔以锁紧所述细牙螺丝。

一些实施例中，调平板上设有弹性槽所述调平孔位于所述弹性槽内；所述锁紧螺丝可压紧所述弹性槽以使所述调平孔压紧所述调整螺丝。

一些实施例中，固定螺丝上套设有球面垫片，所述球面垫片位于所述调平板与所述机座之间。

一些实施例中，调平板上设有用于安装测量设备安装孔。

一些实施例中，调平板上设有至少一个用于固定上述测量设备的第二固定孔。

本实用新型的实施例采用一种新型的光学头校准调整机构解决了光学头校准调整机构的结构过于复杂且对两个方向进行校准调整时容易互相影响的问题。与相关技术相比本实用新型实施例：