[实用新型]一种集成电路测试机

说明书

本实用新型提供了一种集成电路测试机，属于晶圆检测设备技术领域，包括测试机本体，在所述测试机本体下表面的一端两侧上均固定连接有一万向轮，在所述测试机下表面远离万向轮的一端上固定连接有一支撑杆，支撑杆的一端支撑在地面上，在所述测试机本体两侧侧壁均安装有一把手，本实用新型具有方便了操作者移动测试机本体优点。

技术领域

本实用新型属于晶圆检测设备技术领域，特别是一种集成电路测试机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片。在晶圆上可加工制作各种芯片，使晶圆成为具有特定功能的产品。在晶圆的加工过程中，通常需将晶圆固定于晶圆测试机台上，并逐个对设置于晶圆上的芯片进行光学及电学性能的测试。

现有的测试机如申请号为CN201820725073.0的中国实用新型专利，公开了一种自动化晶圆测试装置，包括机体、角度调整机构、晶圆测试定位装置、测试组件、安全门及锁紧件。机体具有收容腔，收容腔的底壁形成安装面，安装面上设置有测试工位。角度调整机构安装于安装面，包括旋转组件及平移组件。晶圆测试定位装置安装于角度调整机构背向安装面的表面。测试组件设置于安装面，测试组件用于对位于测试工位的芯片进行性能检测。安全门设置于安装口的边缘。锁紧件可操作地锁闭或解锁，以使安全门锁合或打开。

上述测试机在使用过程中，一旦操作者需要更换测试机的放置地点时，操作者搬运起来比较麻烦。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种集成电路测试机，具有方便了操作者移动测试机本体的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

一种集成电路测试机，包括测试机本体，在所述测试机本体下表面的一端两侧上均固定连接有一万向轮，在所述测试机下表面远离万向轮的一端上固定连接有一支撑杆，支撑杆的一端支撑在地面上，在所述测试机本体两侧侧壁均安装有一把手。

进一步的，在所述测试机本体两侧侧壁上均固定连接有一安装管，所述安装管呈竖直设置，在所述安装管中滑动连接有一支杆，在支杆下端端面上开设有一安装槽，在安装槽两侧内壁之间转动连接有一滚轮，所述把手通过转轴转动连接在测试机本体上，在所述把手一端上开设有一腰型槽，在所述支杆一端上固定连接有一滑杆，所述滑杆滑动连接在腰型槽中。

进一步的，所述支杆的长度大于所述把手的转轴到测试机本体下表面的距离。

进一步的，在所述支杆外壁上固定连接有一挡环，在所述支杆外壁上套设有一复位弹簧，所述复位弹簧的两端分别固定连接在挡环和安装管一端端面上。

进一步的，在所述滑杆一端上螺纹连接有一挡片，所述挡片和支杆一端分别位于把手两侧。

进一步的，所述把手包括通过转轴转动连接在测试机本体侧壁上的第一杆、转动连接在第一杆靠近转轴的一端端面上的第二杆和设置在第一杆与第二杆之间用于定位第一杆与第二杆之间角度的定位件，所述腰型槽开设在第一杆远离转轴的一端上。

进一步的，所述定位件包括固定连接在第一杆一端下表面上的第一U型块、固定连接在第二杆一端下表面上的第二U型块和插接在第一U型块和第二U型块中的插板。

进一步的，在所述插板的两端上均螺纹连接有一锁紧螺栓。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型通过把手驱动支杆运动，支杆上的滚轮抵紧在地面上，支杆将测试机本体支撑起来，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者移动测试机本体。

2、本实用新型通过将把手设置为第一杆和第二杆，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者将把手收起来，减小了把手对操作者的影响。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。