[实用新型]光纤法珀压力传感器

权利要求书

1.一种光纤法珀压力传感器，其特征在于，

包括敏感单元和光学组件，所述敏感单元包括层叠设置的具有第一光学表面的第一膜片以及具有第二光学表面的第二膜片，所述第一光学表面与所述第二光学表面相对且平行地设置并且在所述第一光学表面与所述第二光学表面之间形成有空腔，所述第一膜片具有与所述空腔连通的通孔，并且所述通孔的轴线正交于所述第一光学表面，所述光学组件嵌设于所述通孔中并且所述光学组件嵌入于所述通孔中的一端的端面与所述第二光学表面平行，经由所述光学组件而进入所述空腔的光线能够在所述光学组件嵌入于所述通孔中的一端的端面与所述第二光学表面之间进行反射并生成包括所述第一光学表面与所述第二光学表面的间距信息的光学信号，其中，所述第二膜片配置为受到压力作用而发生形变以使所述第一光学表面与所述第二光学表面的间距发生改变，通过感测所述光学信号以感测压力。

2.根据权利要求1所述的光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述第二膜片具有与所述空腔连通的多个气孔。

3.根据权利要求1所述的光纤法珀压力传感器，其特征在于，

在所述第一膜片背离所述空腔的一侧还设置有与所述通孔共轴的凸台，所述凸台呈圆柱状，且所述凸台的直径小于2.5mm。

4.根据权利要求1所述的光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述通孔的直径为50μm至2.4mm。

5.根据权利要求2所述的光纤法珀压力传感器，其特征在于，

各个气孔的轴线正交于所述第一光学表面。

6.根据权利要求2所述的光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述通孔的轴线不经过所述多个气孔中的任一个。

7.根据权利要求2所述的光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述多个气孔围绕所述通孔的轴线均匀布置。

8.根据权利要求1所述的光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述通孔的轴线穿过所述第一光学表面的中央。

9.根据权利要求1所述的光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述光学组件包括光纤以及具有中空部的玻璃管，所述玻璃管的尺寸与所述通孔的尺寸相匹配并且所述玻璃管嵌设于所述通孔中，所述光纤的尺寸与所述中空部的尺寸相匹配并且所述光纤嵌设于所述中空部中，所述中空部的轴线正交于所述第一光学表面且所述光纤嵌入于所述中空部中的一端的端面与所述第二光学表面平行。

10.根据权利要求2所述的光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述气孔包括形成为L状的第一部分和第二部分，所述第一部分的轴线正交于所述第一光学表面并且所述第二部分的轴线平行于所述第一光学表面。