[实用新型]非本征光纤法珀压力传感器

权利要求书

1.一种非本征光纤法珀压力传感器，其特征在于，

包括敏感单元、以及与所述敏感单元连接的光学组件，所述敏感单元包括依次层叠的具有第一光学表面的第一膜片、具有第二光学表面且配置为光线可透射而过的第二膜片、以及具有通孔的第三膜片，所述第一光学表面与所述第二光学表面相对且平行地设置并且在所述第一光学表面与所述第二光学表面之间形成有空腔，所述通孔的轴线正交于所述第一光学表面，所述光学组件嵌设于所述通孔中，经由所述光学组件和所述第二膜片而进入所述空腔的光线能够在所述第一光学表面与所述第二光学表面之间进行反射并生成包括所述第一光学表面与所述第二光学表面的间距信息的光学信号，其中，所述第一膜片配置为受到压力作用而发生形变以使所述第一光学表面与所述第二光学表面的间距发生改变，通过感测所述光学信号以对压力进行感测。

2.根据权利要求1所述的非本征光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述第一膜片、所述第二膜片和所述第三膜片由石英玻璃制备而得。

3.根据权利要求1所述的非本征光纤法珀压力传感器，其特征在于，

在所述第三膜片背离所述空腔的一侧设置有与所述通孔共轴且呈圆柱状的凸台，所述通孔贯通所述凸台，所述凸台的直径小于2.5mm。

4.根据权利要求1所述的非本征光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述第一膜片具有与所述空腔连通的气孔。

5.根据权利要求2所述的非本征光纤法珀压力传感器，其特征在于，

在所述第一膜片的所述第一光学表面所在的一侧或在所述第二膜片的所述第二光学表面所在的一侧通过微机械加工制作凹槽，当所述第一膜片与所述第二膜片以所述第一光学表面与所述第二光学表面相对的方式结合时，通过所述第一光学表面、所述凹槽、以及所述第二光学表面形成所述空腔。

6.根据权利要求4所述的非本征光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述气孔呈L字状。

7.根据权利要求4所述的非本征光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述气孔的数量为多个，并且多个气孔围绕所述通孔的轴线均匀布置。

8.根据权利要求1所述的非本征光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述光学组件由光纤和具有中空部的玻璃管组成，所述玻璃管的尺寸与所述通孔的尺寸相匹配并且所述玻璃管嵌设于所述通孔中，所述光纤的尺寸与所述中空部的尺寸相匹配并且所述光纤嵌设于所述中空部中，所述光纤嵌设于所述中空部中的一端的端面平行于所述第一光学表面。

9.根据权利要求8所述的非本征光纤法珀压力传感器，其特征在于，

在所述光纤一端的端面上设有配置为对光线进行准直的准直元件。

10.根据权利要求8所述的非本征光纤法珀压力传感器，其特征在于，

所述玻璃管经由高温焊接与所述敏感单元结合，并且所述光纤经由高温焊接与所述玻璃管结合。