[实用新型]一种籽晶生产用夹持结构有效
申请号: | 202121542205.4 | 申请日: | 2021-07-08 |
公开(公告)号: | CN215050854U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 陈志谋 | 申请(专利权)人: | 扬州申威光电器材有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B15/32;C30B15/34;C30B11/10;C30B11/00;C30B29/20 |
代理公司: | 金华市婺实专利代理事务所(普通合伙) 33340 | 代理人: | 胡恩晗 |
地址: | 225653 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 籽晶 生产 夹持 结构 | ||
本实用新型涉及籽晶生产技术领域,具体的公开了一种籽晶生产用夹持结构,包括:夹持器主体,形成安装主体。固定套,固定连接在夹持器主体上,其用于连接上轴。支撑板,可转动可滑动的连接在夹持器主体上,且转动平面与夹持面平行。自由度调节结构,连接在夹持器主体上,并与支撑板连接,用于调节支撑板的转动角度、滑动位移。夹持板,可滑动的连接在夹持器主体上,通过与支撑板配合对籽晶进行夹持。夹持调节结构,安装在夹持器主体上,并与夹持板连接,用于调节夹持板相对支撑板的距离对籽晶进行夹持。本实用新型优点:结构简单、操作方便、夹持稳定。
技术领域
本实用新型涉及籽晶生产技术领域,具体是一种籽晶生产用夹持结构。
背景技术
蓝宝石是一种氧化铝(α-Al2O3)的单晶,俗称刚玉,其熔点为2050℃,沸点为2980℃,最高工作温度可达1900℃,是一种较早开发应用的人工晶体材料。蓝宝石晶体材料是使用最广泛的氧化物衬底材料之一,在微电子-光电子技术、通信、医学等领域有着广阔的应用前景。
蓝宝石单晶的生长方法很多,其中最常见的有泡生法(KY法)、提拉法(CZ法)、导模法EFG、温梯法TGT、热交换法HEM、焰熔法等等。在蓝宝石单晶材料制造的过程中,籽晶夹持器是重要而且是必需的部件。籽晶需要被很好地固定到籽晶夹持器中,确保在制备过程中籽晶不会脱落掉入熔汤,最终顺利完成单晶的生长。现有的夹持结构需要单个螺栓调节通过单个螺栓对籽晶进行夹持,需要单个进行调节,从而造成调节方便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种籽晶生产用夹持结构,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种籽晶生产用夹持结构,用于籽晶生产过程中对籽晶进行夹持,所述籽晶生产用夹持结构包括:
夹持器主体,形成安装主体;
固定套,固定连接在夹持器主体上,其用于连接上轴;
支撑板,可转动可滑动的连接在夹持器主体上,且转动平面与夹持面平行;
自由度调节结构,连接在夹持器主体上,并与支撑板连接,用于调节支撑板的转动角度、滑动位移;
夹持板,可滑动的连接在夹持器主体上,通过与支撑板配合对籽晶进行夹持;
夹持调节结构,安装在夹持器主体上,并与夹持板连接,用于调节夹持板相对支撑板的距离对籽晶进行夹持;
其中,夹持调节结构包括:支撑板调节旋钮、主动齿轮、从动齿轮、螺杆和复位滑动块;支撑板调节旋钮转动连接在夹持器主体上并同轴固定连接有主动齿轮,螺杆至少设置两个并同轴固定连接有从动齿轮,且转动连接在夹持器主体上,复位滑动块通过复位件滑动连接在夹持板的内部,螺杆配合穿过复位滑动块,且主动齿轮和从动齿轮啮合。
作为本实用新型进一步的方案:所述支撑板和夹持板之间设置有便于籽晶的夹持且与籽晶吻合的凹槽。
作为本实用新型进一步的方案:所述夹持板的夹持面固定连接有起到籽晶保护与夹持板之间的隔热的隔板。
作为本实用新型进一步的方案:所述自由度调节结构包括:自由度调节旋钮、凸台、滑动杆、鱼叉和拉簧,鱼叉转动连接在螺栓的一端,螺栓螺纹连接夹持器主体上,滑动杆可转动的穿过支撑板和鱼叉,通过螺栓调节调剂滑动杆的位置,自由度调节旋钮螺纹连接在夹持器主体上,且内端固定连接有圆台型的凸台,并与支撑板的一端接触,支撑板的另一端通过拉簧与夹持器主体连接,通过转动螺栓调节支撑板的位移,通过转动自由度调节旋钮使凸台插入深度改变,从而可以挤压支撑板的转动角度。
作为本实用新型进一步的方案:所述鱼叉为凹字型结构,鱼叉的两端凸出部分转动嵌套在支撑板两端。
作为本实用新型进一步的方案:所述复位滑动块通过复位件进行缓冲。
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