[实用新型]双干式真空泵机组

权利要求书

1.一种双干式真空泵机组，包括增压泵(2)和前级泵(10)，其特征在于：增压泵(2)的进口连接有过滤器(6)，过滤器(6)进口连接进气口(7)，过滤器(6)出口连接前级泵(10)的进口，增压泵(2)的出口连接冷却缓冲罐(15)，冷却缓冲罐(15)的出口连接前级泵(10)的进口，增压泵(2)与过滤器(6)之间设有阀门一(4)，过滤器(6)与前级泵(10)之间设有阀门二(14)，增压泵(2)和前级泵(10)为爪泵或螺杆泵，前级泵(10)的出口连接出气口(8)。

2.根据权利要求1所述的双干式真空泵机组，其特征在于：阀门一(4)和阀门二(14)为电磁阀，阀门一(4)和阀门二(14)连接有PLC控制器，PLC控制器连接增压泵(2)和前级泵(10)。

3.根据权利要求2所述的双干式真空泵机组，其特征在于：过滤器(6)的出口连接有三通管一(5)，三通管一(5)的另外两个管口分别连接有输气管一(3)和输气管二(16)，阀门一(4)和阀门二(14)分别安装在输气管一(3)和输气管二(16)上，输气管二(16)的另一端连接有三通管二(12)，三通管二(12)的另外两个管口分别通过管路连接冷却缓冲罐(15)和前级泵(10)。

4.根据权利要求3所述的双干式真空泵机组，其特征在于：出气口(8)处连接有消音器(9)，所述机组还包括架体(13)，增压泵(2)、前级泵(10)、过滤器(6)和冷却缓冲罐(15)均固定安装在架体(13)上。

5.根据权利要求3所述的双干式真空泵机组，其特征在于：前级泵(10)和增压泵(2)的外侧设有清洗箱(1)，前级泵(10)和增压泵(2)通过清洗管路(11)分别连接清洗箱(1)。