[实用新型]一种靶材水道口防塌组件

说明书

本实用新型涉及一种靶材水道口防塌组件，包括第一组件和与之相配合的第二组件；所述第一组件依次分为A段、B段和C段；所述A段的长度＜所述C段的长度＜所述B段的长度；所述B段为弧形凹结构；所述第二组件为空心结构；所述第二组件的空心结构和所述第一组件过渡配合；所述A段的宽度＞所述B段的宽度＞所述C段的宽度。通过利用组件间的过渡配合，实现对水口孔道中不同位置进行不同膨胀配合保护，从而使得在抛光过程中孔道不会出现坍塌也不会出现由于加工过程中应力的形成所导致的侧壁鼓包等问题，从而提升靶材加工的成品率，避免因为水道口加工过程中造成的加工问题而导致的报废，显著降低企业的生产成本。

技术领域

本实用新型涉及靶材领域，具体涉及一种靶材水道口防塌组件。

背景技术

目前，靶材广泛的用于溅射镀膜领域，然后在具体使用过程中靶材需要通入冷却介质进行冷却。

如CN208104526U公开了一种靶材冷却装置，包括靶材和冷却靶座，所述冷却靶座包括冷却腔，所述冷却腔上壁为冷却背板用于放置所述靶材，所述冷却腔两端分别设置有冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却腔内上下壁设有若干彼此交错且间隔设置的导流板，使所述冷却腔内部空间形成曲折连通的冷却介质流道，这种结构的冷却靶座可以提高冷却背板的换热面积，同时在来回曲折的流动过程中，冷却介质湍动程度大幅提高，强化冷却介质与靶座之间的传热，从而急速降低靶材底座的温度。

CN110117778A公开了一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，包括：水泵、混水管道、碎冰机、靶材和冷却塔，所述靶材中设置有冷却水腔体，所述靶材一端设置有与冷却水腔体连通的第一管接头，所述靶材另一端设置有与冷却水腔体连通的第二管接头，所述第一管接头与冷却塔的出水口之间设置有供水管，所述第二管接头与冷却塔的进水口之间设置有回水管，所述混水管道串联在供水管上，所述碎冰机设置在混水管道上方，所述碎冰机的底部设置有与混水管道垂直连通的落料管。通过上述方式，自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，通过冰粒随冷却水依次进入供水管、冷却水腔体和回水管，对其内壁进行冲刷，清理掉污垢，提升了对靶材的冷却效果。

然而现有技术中，在加工靶材时同时需要将冷却介质的出入口进行预留，然后预留的出入口在抛光过程中容易出现坍塌的问题，同时还存在由于加工过程中应力的形成所导致的侧壁鼓包等问题。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种靶材水道口防塌组件，通过设计特定的结构组件，利用组件之间的过渡配合，对冷却介质道口进行保护，进而使得在抛光过程中孔道不会出现坍塌也不会出现由于加工过程中应力的形成所导致的侧壁鼓包等问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种靶材水道口防塌组件，所述靶材水道口防塌组件包括第一组件和与之相配合的第二组件；

所述第一组件依次分为A段、B段和C段；

所述A段的长度＜所述C段的长度＜所述B段的长度；

所述B段为弧形凹结构；

所述第二组件为空心结构；

所述第二组件的空心结构和所述第一组件过渡配合；

所述A段的宽度＞所述B段的宽度＞所述C段的宽度。

本实用新型提供的防塌组件，通过利用组件间的过渡配合，实现对水口孔道中不同位置进行不同膨胀配合保护，从而使得在抛光过程中孔道不会出现坍塌也不会出现由于加工过程中应力的形成所导致的侧壁鼓包等问题，从而提升靶材加工的成品率，避免因为水道口加工过程中造成的加工问题而导致的报废，显著降低企业的生产成本。

本实用新型中，所述第二组件为弹性材质，以保证过渡配合可以对孔道进行进一步顶持，第一组件为刚性材料，以保证可以提供过渡配合所能提供的效果。