[实用新型]一种陶瓷弹性膜片及其陶瓷力敏传感器装置

权利要求书

1.一种陶瓷弹性膜片，包括：陶瓷片和布置在陶瓷片上的应变电阻或电容，所述陶瓷弹性膜片适于受到外部输入力或抵触运动时变形，并将外部输入力或变形量转换成电信号，

其特征在于：

所述陶瓷弹性膜片受力面上设有由非弹性材料制成的具有适于厚度、硬度和弹性的弹性层或补强层中的至少一种，或者，

所述陶瓷弹性膜片受力面的背面上设有由非弹性材料制成的具有适于厚度、硬度和弹性的弹性层、弹性支撑体或补强层中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的陶瓷弹性膜片，其特征在于：

所述弹性层由绝缘材料、塑料材料、金属材料、合金材料、石墨烯材料中的至少一种制成。

3.根据权利要求1所述的陶瓷弹性膜片，其特征在于：

所述补强层包括：粘结或非粘结地布置在所述陶瓷弹性膜片上的绝缘材料层、塑料材料层、金属材料层、合金材料层、石墨烯材料层或电镀材料层中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的陶瓷弹性膜片，其特征在于：

所述弹性支撑体包括：压缩弹簧和布置在压缩弹簧上的弹片。

5.一种陶瓷力敏传感器装置，包括陶瓷弹性膜片，所述陶瓷弹性膜片包括：陶瓷片和布置在陶瓷片上的应变电阻或电容，所述陶瓷弹性膜片适于受到外部输入力或抵触运动时变形，并将外部输入力或变形量转换成电信号，

其特征在于：

所述陶瓷弹性膜片受力面上设有由非弹性材料制成的具有适于厚度、硬度和弹性的弹性层或补强层中的至少一种，或者，

所述陶瓷弹性膜片受力面的背面上设有由非弹性材料制成的具有适于厚度、硬度和弹性的弹性层、弹性支撑体或补强层中的至少一种。

6.一种陶瓷力敏传感器装置，包括陶瓷弹性膜片，所述陶瓷弹性膜片包括：陶瓷片和布置在陶瓷片上的应变电阻或电容，所述陶瓷弹性膜片适于受到外部输入力或抵触运动时变形，并将外部输入力或变形量转换成电信号，其中，所述陶瓷弹性膜片布置在筒形陶瓷基体上，从而构成杯形陶瓷压力传感器芯体，或者，所述陶瓷弹性膜片布置在杯形陶瓷基体上，从而构成柱形陶瓷压力传感器芯体，

其特征在于：

所述陶瓷弹性膜片受力面上设有由非弹性材料制成的具有适于厚度、硬度和弹性的弹性层或补强层中的至少一种，或者，

所述陶瓷弹性膜片受力面的背面上设有由非弹性材料制成的具有适于厚度、硬度和弹性的弹性层、弹性支撑体或补强层中的至少一种。

7.一种陶瓷力敏传感器装置，包括陶瓷弹性膜片、力传递部件和壳体，所述陶瓷弹性膜片包括：陶瓷片和布置在陶瓷片上的应变电阻或电容，所述陶瓷弹性膜片适于受到外部输入力或抵触运动时变形，并将外部输入力或变形量转换成电信号，

其特征在于：

所述陶瓷弹性膜片受力面上设有由非弹性材料制成的具有适于厚度、硬度和弹性的弹性层或补强层中的至少一种，或者，

所述陶瓷弹性膜片受力面的背面上设有由非弹性材料制成的具有适于厚度、硬度和弹性的弹性层、弹性支撑体或补强层中的至少一种。

8.根据权利要求7所述的陶瓷力敏传感器装置，其特征在于：

所述力传递部件包括：球形部件(54；64；74)或凸形部件(44)、压缩弹簧(45；55；65；75)、连接部件(46；56；66；76)、承力杆(47；57；67；77)。

9.根据权利要求8所述的陶瓷力敏传感器装置，其特征在于：

所述压缩弹簧(45；55；65；75)的内经或内圈大于所述球形部件(54；64；74)或凸形部件(44)的外径或外圈，所述球形部件(54；64；74)或凸形部件(44)至少部分布置在所述压缩弹簧(45；55；65；65)的内经或内圈之中，

所述连接部件(46；56；66；76)一端与承力杆(47；57；67；77)固定连接，所述连接部件(46；56；66；76)的另外一端设有适于套接压缩弹簧(45；55；65；75)的圆形沉孔或圆环形槽或圆形凸台。

10.根据权利要求8所述的陶瓷力敏传感器装置，其特征在于，进一步包括：

限位部分和限制部分，

所述限位部分(4a；5a；6a；7a)适于将所述球形部件(54；64；74)或凸形部件(44)圈定在陶瓷弹性膜片中心区域，或者，

所述限位部分是陶瓷弹性膜片受力面上的由非弹性材料制成的具有适于厚度、硬度和弹性的弹性层或补强层(63a；73a)，所述弹性层或补强层(63a；73a)的中间区域设有凹形部分(6a；7a)，所述球形部件(64；74)或凸形部件(44)的下端布置在所述凹形部分(6a；7a)中，所述限位部分(63a；73a)适于将所述球形部件(54；64；74)或凸形部件(44)圈定在陶瓷弹性膜片中心区域，

所述限制部分(4b；5b；6b；7b)适于与连接部件(46；56；66；76)接触后阻止连接部件(46；56；66；76)朝所述陶瓷弹性膜片方向进一步移动，

所述承力杆(47；57；67；77)受到预定的抵触力F时，所述压缩弹簧(45；55；65；75)不与所述限位部分(4a；5a；6a；7a)和限制部分(4b；5b；6b；7b)接触。