[实用新型]一种新型用于光刻胶生产的收纳装置

说明书

本实用新型涉及光刻胶生产技术领域，公开了一种新型用于光刻胶生产的收纳装置，包括收纳筒，所述收纳筒的顶部左端固定设有进料装置，所述进料装置的顶部经过合页连接有进料盖板，所述进料装置的内部设有进料过滤装置，所述进料过滤装置的顶部两端固定焊接有提拉装置，所述进料装置的内侧两端固定焊接有限位块，所述进料过滤装置设于限位块的顶部，所述收纳筒的内侧壁固定设有内钢板，所述收纳筒与内钢板之间填充有岩棉板，所述收纳筒的顶部右端设有液位监测装置，所述液位监测装置的底部连接有液位传感器。该新型用于光刻胶生产的收纳装置，方便直接精确收纳光刻胶，过滤净化光刻胶内的杂质，避免光刻胶温度过高造成硬化的问题。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶生产技术领域，具体为一种新型用于光刻胶生产的收纳装置。

背景技术

光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。

目前，现有的用于光刻胶生产的收纳装置存在如下问题：（1）不便直接将光刻胶回收收纳，无法高效的防尘防水，光刻胶生产后回收进料不能直接过滤净化，杂质较多，质量低，实用性低，现有的收纳装置保温效果不足，容易造成温度过高导致光刻胶硬化的问题；（2）不便自动化监测到光刻胶的液位，难以高精度收纳，排出也较为不便，设计不合理。为此，需要设计相应的技术方案给予解决。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型用于光刻胶生产的收纳装置，解决了不便直接将光刻胶回收收纳，无法高效的防尘防水，光刻胶生产后回收进料不能直接过滤净化，杂质较多，质量低，实用性低，现有的收纳装置保温效果不足，容易造成温度过高导致光刻胶硬化的技术问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种新型用于光刻胶生产的收纳装置，包括收纳筒，所述收纳筒的顶部左端固定设有进料装置，所述进料装置的顶部经过合页连接有进料盖板，所述进料装置的内部设有进料过滤装置，所述进料过滤装置的顶部两端固定焊接有提拉装置，所述进料装置的内侧两端固定焊接有限位块，所述进料过滤装置设于限位块的顶部，所述收纳筒的内侧壁固定设有内钢板，所述收纳筒与内钢板之间填充有岩棉板，所述收纳筒的顶部右端设有液位监测装置，所述液位监测装置的底部连接有液位传感器，所述收纳筒的底部侧端固定设有出料口，所述出料口的顶部连接有球阀；所述收纳筒为圆筒型结构，所述进料装置为方形漏斗结构。

优选的，所述收纳筒的侧部固定焊接有推杆，所述推杆的外部套接有硅胶套。

优选的，所述进料盖板的顶部外端固定焊接有提拉把手，所述进料盖板的底部一周粘接有橡胶密封圈。

优选的，所述收纳筒的侧部固定设有透明观察窗，所述透明观察窗的侧部分布有刻度线。

优选的，所述收纳筒的底部外端安装分布有万向轮，所述万向轮的顶部侧端连接有制动阀板。

（三）有益效果

（1）该新型用于光刻胶生产的收纳装置，通过在收纳筒顶部左端固定设置的进料装置，方便直接回收收纳光刻胶，生产成本低，通过在进料装置顶部经过合页连接的进料盖板，开闭使用方便，防水防尘，通过在进料装置内部设置的进料过滤装置，可高效的过滤净化光刻胶内的杂质，安全实用，通过在进料过滤装置顶部两端固定焊接的提拉装置和进料装置内侧两端固定焊接的限位块，方便快速拆装进料过滤装置进行清理，通过在收纳筒内侧壁固定设置的岩棉板和内钢板，有效的提高了保温效果，避免光刻胶温度过高造成硬化的问题。