[实用新型]一种容置槽及镀膜载板

说明书

本申请提供了一种容置槽及镀膜载板，属于太阳能电池制备技术领域。容置槽的上开口处设有向周边延伸的边缘构件，容置槽通过边缘构件与镀膜载板可拆卸连接；容置槽的至少部分侧壁设置有支撑构件，支撑构件用于承载待镀膜件。镀膜载板包括载板本体和容置槽，载板本体为框架形结构，载板本体上设置有至少一个通孔，通孔用于放置容置槽，边缘构件与载板本体的框架可拆卸连接。通过本申请的处理方案，具有更高的使用灵活性和利用率，降低对生产工艺的影响，提高生产产量。

技术领域

本申请涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种容置槽及镀膜载板。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)是制备太阳能电池过程中常用的一种镀膜技术，使用这种工艺时，会需要用到特殊材料制作的载板作为硅片镀膜的载具。

现有技术中用于太阳能电池PECVD工艺的镀膜载板，通常是一大块完整载板,载板上设置有若干个用于放置硅片的格槽，载板和格槽在结构上具有整体性和一致性。发明人在使用载板的过程中发现存在以下问题：若一整块载板里面只有其中一个或少数几个格槽出现问题或被破坏而无法正常进行镀膜工艺，要想维修或解决载板中格槽的问题就必须将整块载板暂时弃用，导致进行的工艺和生产产量因此而耽误。可见，由于载板结构的整体性和关联性，导致未出现问题的格槽因为出现问题的少量或部分格槽而不能继续投入使用，是产能时间和设备资源上的一种双重浪费。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供一种容置槽及镀膜载板，至少部分解决现有技术中存在的问题。

第一方面，本实用新型提供了一种容置槽，应用于镀膜载板，所述容置槽的上开口处设有向周边延伸的边缘构件，所述容置槽通过所述边缘构件与所述镀膜载板可拆卸连接；

所述容置槽的至少部分侧壁设置有支撑构件，所述支撑构件用于承载待镀膜件。

根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述容置槽的边缘构件的外形为直角的四边形、边角为弧形的四边形或边角带有倒角的四边形。

根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述支撑构件为设置在所述容置槽的侧壁底部的台阶状构件或四分之一圆柱体状构件。

根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述支撑构件的高度小于所述容置槽的侧壁的高度。

根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述待镀膜件为硅片或经过前序处理的硅片。

第二方面，本实用新型还提供了一种镀膜载板，包括载板本体和如前述第一方面任一实施例所述的容置槽，所述载板本体为框架形结构，所述载板本体上设置有至少一个通孔，所述通孔用于放置所述容置槽，所述边缘构件与所述载板本体的框架可拆卸连接。

根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述通孔的排列方式为M行N列设置，M、N为大于等于1的自然数。

根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述边缘构件与所述载板本体的框架可拆卸连接的方式为悬挂式、卡槽式和嵌入式中的一种或几种。

根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述容置槽的侧壁所围成的平面形状为边角为直角的四边形、边角为弧形的四边形或边角带有倒角的四边形。

根据本申请实施例的一种具体实现方式，所述通孔的形状为边角为直角的四边形、边角为弧形的四边形或边角带有倒角的四边形。

有益效果

根据本实用新型提供的容置槽及镀膜载板，通过将容置槽可拆卸的安装于镀膜载板上，当其中某一或某几个容置槽出现问题时，可选择性的进行维修或更换，具有更高的使用灵活性和利用率，降低对生产工艺的影响，提高生产产量；本实用新型提供的容置槽与载板本体可以根据实际需求有多种变化、不同组合，按实际情况能够灵活运用于各种不同规格的镀膜设备，实用性非常强。