[实用新型]一种声波器件以及一种滤波装置

说明书

本实用新型公开了一种声波器件，包括衬底；位于衬底一侧的压电层；位于压电层背向衬底一侧表面的叉指电极；叉指电极包括两条母线以及位于两条母线之间的指状电极；指状电极交替连接两母线，相邻指状电极相互隔离；任一指状电极均包括多段指状子电极，相邻指状子电极的朝向不同。由于相邻指状子电极的朝向不同，使得声波会向多个方向传播，且各向同性。因为传播方向并不单一，不易产生横向模式，因此也能有效抑制声波器件结构的横向寄生模式。同时器件多样的形状，增加了设计度，有利于减小器件最终的尺寸，降低成本。本实用新型还提供了一种滤波装置，同样具有上述有益效果。

技术领域

本实用新型涉及声波器件技术领域，特别是涉及一种声波器件以及一种滤波装置。

背景技术

声波滤波器可在高频电路中使用，例如用作带通滤波器。声波滤波器由若干个声波谐振器组合而成。声波谐振器按振动模式一般分为声表面波(SAW)器件和体声波(BAW)器件。SAW器件使用叉指电极(IDT)来将电能转换成声能，或者相反地将声能转换成电能。BAW器件与SAW器件类似，依靠压电材料的压电效应形成谐振。BAW谐振器一般由上电极层，压电层，下电极层组成三明治结构，产生谐振。下电极下方是空气腔(FBAR)或者声学反射层(SMR)，谐振区域发生在压电层内而非表面。

近年来，以声波谐振器为基本单元的滤波器，双工器等，越来越小型化，高频化和宽带化，同时对功率承受能力也要求更高。LiNbO3和LiTaO3因具有较高的材料压电系数(K2)而被广泛应用于高频大带宽要求的声波器件。但是现阶段，声波器件在工作时产生的横向寄生模式会影响声波器件的性能，所以如何减少工作时横向寄生模式的产生是本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种声波器件，可以有效减少横向寄生模式的产生；本实用新型还提供了一种滤波装置，可以有效减少横向寄生模式的产生。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种声波器件，包括：

衬底；

位于所述衬底一侧的压电层；

位于所述压电层背向所述衬底一侧表面的叉指电极；所述叉指电极包括两条母线以及位于两条所述母线之间的指状电极；所述指状电极交替连接两所述母线，相邻所述指状电极相互隔离；任一所述指状电极均包括多段指状子电极，相邻所述指状子电极的朝向不同。

可选的，所述指状子电极呈弧形。

可选的，所述指状电极呈波浪形。

可选的，所述指状电极呈半圆形。

可选的，所述指状电极呈圆形。

可选的，两条所述母线位于同一直线。

可选的，所述母线包括第一母线和第二母线，所述指状电极包括交替设置的第一指状电极与第二指状电极，所述指状电极均设置有一缺口；所述第一指状电极与所述第一母线连接，所述第一指状电极的缺口对应所述第二母线；所述第二指状电极与所述第二母线连接，所述第二指状电极的缺口对应所述第一母线。

可选的，所述母线包括第一母线和第二母线，所述指状电极包括交替设置的第一指状电极与第二指状电极；所述第一指状电极背向所述衬底一侧表面对应所述第二母线的位置设置有第一隔离层，所述第二指状电极背向所述衬底一侧表面对应所述第一母线位置设置有第二隔离层；所述第一母线跨置所述第二隔离层与所述第一指状电极连接，所述第二母线跨置所述第一隔离层与所述第二指状电极连接。

本实用新型还提供了一种滤波装置，包括如上述任一项所述的声波器件。