[实用新型]压电体声波滤波器

权利要求书

1.一种压电体声波滤波器，其特征在于，包括输入端子、输出端子、接地端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；

所述多个串联的薄膜体声波谐振器包括串联连接在所述输入端子和输出端子之间的第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器、第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器；

所述多个并联的薄膜体声波谐振器包括第八薄膜体声波谐振器、第九薄膜体声波谐振器、第十薄膜体声波谐振器和第十一薄膜体声波谐振器，所述第八薄膜体声波谐振器的一端连接在所述第一薄膜体声波谐振器和第二薄膜体声波谐振器之间；所述第九薄膜体声波谐振器的一端连接在所述第三薄膜体声波谐振器和第四薄膜体声波谐振器之间；所述第八薄膜体声波谐振器的另一端与所述第九薄膜体声波谐振器的另一端连接后与所述接地端子连接；所述第十薄膜体声波谐振器和第十一薄膜体声波谐振器的一端分别依次连接在所述第五薄膜体声波谐振器至第七薄膜体声波谐振器之间的节点上；所述第十薄膜体声波谐振器和第十一薄膜体声波谐振器的另一端分别连接接地端子。

2.如权利要求1所述的压电体声波滤波器，其特征在于，所述多个串联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同；所述多个并联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。

3.如权利要求1或2所述的压电体声波滤波器，其特征在于，所述多个串联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和所述多个并联的薄膜体声波谐振器的并联谐振频率相同。

4.如权利要求1所述的压电体声波滤波器，其特征在于，所述第一薄膜体声波谐振器的面积为66620μm2-66720μm²，所述第二薄膜体声波谐振器的面积为55972μm2-56072μm²，所述第三薄膜体声波谐振器的面积为48812μm2-48912μm²，所述第四薄膜体声波谐振器的面积为57450μm2-57550μm²，所述第五薄膜体声波谐振器的面积为50390μm2-50490μm²，所述第六薄膜体声波谐振器的面积为52950μm2-53050μm²，所述第七薄膜体声波谐振器的面积为55792μm2-55892μm²，所述第八薄膜体声波谐振器的面积为53050μm2-53150μm²，所述第九薄膜体声波谐振器的面积为53047μm2-53147μm²，所述第十薄膜体声波谐振器的面积为65450μm2-65550μm²，所述第十一薄膜体声波谐振器的面积为23880μm2-23980μm²。

5.如权利要求1所述的压电体声波滤波器，其特征在于，所述压电体声波滤波器的版图主要包括牺牲层、下电极层、上电极层、差频层和孔层，所述差频层与所述多个并联的薄膜体声波谐振器对应，所述多个串联的薄膜体声波谐振器不具有所述差频层。

6.如权利要求5所述的压电体声波滤波器，其特征在于，所述孔层中开设有多个释放孔，每个薄膜体声波谐振器均设有多个释放通道，每个所述释放通道至少对应一个释放孔。

7.如权利要求5所述的压电体声波滤波器，其特征在于，所述上电极层的厚度为所述下电极层的厚度为压电层的厚度为所述差频层的厚度为

8.如权利要求6所述的压电体声波滤波器，其特征在于，所述释放孔的直径为15μm-25μm。