[实用新型]一种磁场强度检测与调节装置有效
申请号: | 202121476874.6 | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN215375744U | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 蒲军;杨清华;谢守荣;郑猛;熊建 | 申请(专利权)人: | 咸宁南玻节能玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02 |
代理公司: | 咸宁鸿信专利代理事务所(普通合伙) 42249 | 代理人: | 阳会用 |
地址: | 437000 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磁场强度 检测 调节 装置 | ||
本实用新型提供了一种磁场强度检测与调节装置,属于玻璃加工设备技术领域。包包括一支架,所述支架顶端固定有检测筒,所述检测筒由废旧的靶材芯制成,所述检测筒的顶部开设有若干调节窗,所述检测筒一侧的外壁上固定有挡板;所述支架上于检测筒下方固定有滑竿,所述滑竿及挡板的轴线均与检测筒的轴线平行;本装置还包括一检测板,所述检测板的横截面呈圆弧状,所述检测板上固定有磁通量检测仪。本实用新型能够使得工作人员磁通管的检测调节更为便捷、准确。
技术领域
本实用新型属于玻璃加工设备技术领域,涉及一种磁场强度检测与调节装置。
背景技术
磁控溅射镀膜玻璃是利用真空磁控溅射原理在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜,以改变玻璃的光学性能,满足某种特定要求的玻璃产品。磁控溅射镀膜生产线过程中,常常需要用到各种各样的交流旋转靶材来对玻璃进行镀膜,而靶材内磁通管的磁场均匀性对于镀膜的均匀性起到决定性的作用,进而影响玻璃的外观,故而在磁控溅射镀膜生产前,对于磁通管磁场强度均匀性的调节尤为重要。
我司现有的磁通管结构如图1所示,磁通管包括一圆柱状磁通管本体1,其一侧的外壁上开设有若干调节槽11,磁通管本体1内与调节槽11相对的一侧开设有磁条安装槽12,各调节槽11底部均开设有调节螺孔13,各调节螺孔13均将与其对应的调节槽11与磁条安装槽12导通,调节螺纹孔内可安装调节螺栓;磁通管本体1内于磁条安装槽12周围开设有冷却水道14;磁控溅射镀膜生产前,工作人员会将磁条安装于导轨上,尔后将导轨安装于磁条安装槽12内,再通过于调节螺孔13内安装螺栓对导轨及磁条进行压紧固定,由于各磁条的磁场强度难免存在微小的差异及螺栓的下压深度很难做到一致,故而需通过调节螺栓的下压程度来微调磁条的位置,进而使磁通管本体1各处的磁场强度保持一致性。
此前的在调节磁通管本体1的磁场强度均匀性时,大多手持磁通量检测仪于磁条安装槽12周围测量并根据实际情况对螺栓进行调节,但由于检测位置的偏差,很难做到准确检测并对其进行调节,进而给工作人员的调节作业造成极大的不便,使得效率低下,且难以保证产品的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有的技术存在的上述问题,提供一种磁场强度检测与调节装置,本实用新型所要解决的技术问题是提供一种磁场强度检测与调节装置,使得工作人员对磁通管各处磁场强度的检测与调节更为便捷、准确。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种磁场强度检测与调节装置,其特征在于,包括一支架,所述支架顶端固定有检测筒,所述检测筒由废旧的靶材芯制成,所述检测筒的顶部开设有若干调节窗,所述检测筒一侧的外壁上固定有挡板;所述支架上于检测筒下方固定有滑竿,所述滑竿及挡板的轴线均与检测筒的轴线平行;本装置还包括一检测板,所述检测板的横截面呈圆弧状,所述检测板上固定有磁通量检测仪。
检测前,工作人员可将磁通管插入检测管内,且使其各调节槽与调节窗对应、对齐(调节窗是根据调节槽的数量及位置对应开设的);检测时,检测板一端抵靠于挡板下表面,中部抵靠在滑竿上,且由于滑竿及挡板的轴线均与检测筒的轴线平行,故保证了磁通量检测仪与检测筒的距离始终保持一致,进而保证了检测数据的可靠性;检测板可与滑竿上来回移动,可对检测筒各处的磁通量进行测量,进而使得工作人员可通过磁通量检测仪上反馈的数据,于各个调节窗内对螺栓进行调节,以调节螺栓对导轨各处压紧程度的调节,使磁通管各处磁场强度尽量一致。有了该装置的辅助,使得工作人员磁通管的检测调节更为便捷、准确。
在上述一种磁场强度检测与调节装置中,所述检测板中部的下表面开设有与滑竿适配的滑槽,所述滑槽背面固定有检测探头;所述检测板一端抵靠在挡板上,检测板另一端固定有磁通量检测仪,磁通量检测仪倾斜设置,磁通量检测仪与水平之间的夹角在0°到30°之间;所述检测探头与磁通量检测仪电连接。
于检测板下表面设置滑槽,使得检测板抵靠于滑槽和挡板之间,使其能够稳定地滑动连接于滑竿上;同时,由于磁通量检测仪和检测板需要更换和维护,而这种滑动连接方式恰好使得检测板的拆卸非常便捷。
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