[实用新型]一种冷泵及冷泵系统有效

专利信息
申请号: 202121475224.X 申请日: 2021-06-30
公开(公告)号: CN215595816U 公开(公告)日: 2022-01-21
发明(设计)人: 路龙 申请(专利权)人: 吉林华微电子股份有限公司
主分类号: F04B37/08 分类号: F04B37/08;F04B37/14;F04B39/00
代理公司: 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 代理人: 唐维虎
地址: 132000 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 系统
【权利要求书】:

1.一种冷泵,其特征在于,包括冷泵本体、支撑件、底板和脚轮;

所述冷泵本体位于所述支撑件的一侧,所述支撑件的另一侧与所述底板连接;

所述脚轮位于所述底板远离所述支撑件的一侧;

所述冷泵本体用于制造真空环境;

所述支撑件和所述底板用于支撑所述冷泵本体;

所述脚轮用于移动所述冷泵本体。

2.根据权利要求1所述的冷泵,其特征在于,所述支撑件包括第一支撑柱、第二支撑柱和第三支撑柱;

所述第一支撑柱、所述第二支撑柱和所述第三支撑柱在所述底板的投影两两连线后构成三角形。

3.根据权利要求2所述的冷泵,其特征在于,所述第一支撑柱靠近所述冷泵本体的一侧包括第一凸块,所述第一支撑柱靠近所述底板的一侧包括第一凹槽;

所述冷泵本体靠近所述第一支撑柱的一侧包括与所述第一凸块对应的第一安装孔,所述冷泵本体和所述第一支撑柱通过所述第一凸块和所述第一安装孔连接;

所述底板靠近所述第一支撑柱的一侧包括与所述第一凹槽对应的安装柱,所述底板和所述第一支撑柱通过所述第一凹槽和所述第一安装柱连接。

4.根据权利要求3所述的冷泵,其特征在于,所述第一凸块和所述第一安装孔可拆卸连接。

5.根据权利要求2所述的冷泵,其特征在于,所述底板包括第一支撑区域和第二支撑区域,所述第一支撑柱位于所述第一支撑区域,所述第二支撑柱和所述第三支撑柱位于所述第二支撑区域,所述第一支撑区域小于所述第二支撑区域。

6.根据权利要求1所述的冷泵,其特征在于,所述脚轮包括底座、连接件和滑轮;

所述底座靠近所述底板的一侧包括限位槽,所述底板靠近所述底座的一侧包括与所述限位槽对应的限位件,所述底座和所述底板通过所述限位槽和限位件连接;

所述连接件的一侧与所述底座远离所述底板的一侧连接;

所述连接件的另一侧与所述滑轮可活动连接,以使所述滑轮能够沿多个方向转动。

7.根据权利要求6所述的冷泵,其特征在于,所述底座距离地面的距离为预设距离,所述底座与地面形成的预留空间用于容置千斤顶,所述千斤顶的高度小于所述预设距离。

8.根据权利要求6所述的冷泵,其特征在于,所述底板包括第一导向边和第二导向边,所述第一导向边和所述第二导向边分别位于所述底板相对的两侧,所述第一导向边和所述第二导向边构成八字形。

9.根据权利要求6所述的冷泵,其特征在于,所述限位槽包括内螺纹,所述限位件包括与所述内螺纹配合的外螺纹。

10.一种冷泵系统,其特征在于,包括千斤顶和权利要求1-9中任一项所述的冷泵,所述千斤顶用于举顶所述冷泵。

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