[实用新型]绑头固晶装置及固晶机有效
| 申请号: | 202121460772.5 | 申请日: | 2021-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN214956783U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
| 发明(设计)人: | 胡新平;梁志宏 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐汉华 |
| 地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 绑头固晶 装置 固晶机 | ||
1.一种绑头固晶装置,其特征在于,包括两套固晶绑头(12)、驱动两套所述固晶绑头(12)分别升降的固晶升降模块(13)、驱动两套所述固晶绑头(12)纵向移动的固晶纵移模块(14)、驱动所述固晶纵移模块(14)横向移动的固晶横移模块(15)和支撑所述固晶横移模块(15)的固晶支座(11),所述固晶纵移模块(14)滑动安装于所述固晶支座(11)上,所述固晶升降模块(13)安装于所述固晶纵移模块(14)上,各所述固晶绑头(12)支撑于所述固晶纵移模块(14)上。
2.如权利要求1所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述固晶升降模块(13)包括分别与各套所述固晶绑头(12)相连的固晶动子(131)、分别支撑各所述固晶绑头(12)的滑板(133)和驱动各所述固晶动子(131)升降的固晶直线定子(132),各所述固晶动子(131)安装于所述固晶直线定子(132)中,两套所述固晶绑头(12)分别沿竖直方向滑动安装于两个所述滑板(133)上,所述固晶纵移模块(14)用于分别驱动两个所述固晶动子(131)于所述固晶直线定子(132)中纵向移动,各所述滑板(133)分别与所述固晶纵移模块(14)相连。
3.如权利要求2所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述固晶纵移模块(14)包括分别驱动两个所述滑板(133)纵向移动的两个直线驱动模块,两个所述滑板(133)分别与两个所述直线驱动模块相连。
4.如权利要求3所述的绑头固晶装置,其特征在于:两个所述直线驱动模块分别为用于驱动一个所述滑板(133)纵向移动的纵移直线电机(141)和用于驱动另一个所述滑板(133)纵向移动的丝杆传送模组(142),所述纵移直线电机(141)和所述丝杆传送模组(142)滑动支撑于所述固晶支座(11)上,所述纵移直线电机(141)和所述丝杆传送模组(142)分别与所述固晶横移模块(15)相连。
5.如权利要求2所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述固晶纵移模块(14)包括分别与两个所述滑板(133)相连的两个直线动子和驱动两个所述直线动子纵向移动的纵向直线定子,所述纵向直线定子与所述固晶横移模块(15)相连。
6.如权利要求1-5任一项所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述绑头固晶装置还包括用于对所述固晶纵移模块(14)的运动方向起缓冲作用的对冲组件(16),所述对冲组件(16)与所述固晶纵移模块(14)分别设于所述固晶支座(11)的相对两侧。
7.如权利要求1-5任一项所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述固晶绑头(12)包括吸嘴组件(121)、支撑所述吸嘴组件(121)的支撑座(122)、驱动所述支撑座(122)升降的升降驱动器(123)、与所述固晶升降模块(13)相连的绑头座(124)和连接所述支撑座(122)与所述绑头座(124)的弹片(125),所述升降驱动器(123)安装于所述绑头座(124)上。
8.如权利要求7所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述升降驱动器(123)为音圈电机。
9.如权利要求7所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述支撑座(122)的上下两端分别通过所述弹片(125)与所述绑头座(124)相连。
10.一种固晶机,其特征在于:包括如权利要求1-9任一项所述的绑头固晶装置(100)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





