[实用新型]校准片、校准装置及校准系统

说明书

本申请公开了一种校准片、校准装置及校准系统，校准片应用于检测装置，所述校准片沿第一方向依次包括第一校准区域、第二校准区域以及第三校准区域；所述第一校准区域包括多个第一条纹，多个所述第一条纹沿第二方向间隔设置，所述第二方向与所述第一方向垂直；所述第二校准区域包括多个校准点，多个所述校准点间隔设置，并形成点阵；所述第三校准区域包括多个第二条纹，多个所述第二条纹沿第二方向间隔设置，所述第二条纹的条纹宽度大于所述第一条纹的条纹宽度，相邻的第二条纹的间距大于相邻的第一条纹的间距。通过所述校准片，使所述检测装置在在进行装置校准时，能够通过校准片完成对多个功能的校准过程，从而提高对检测装置的校准效率。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，尤其涉及一种校准片、校准装置及校准系统。

背景技术

检测设备在装调过程中，各个光学元件的位置相对固定，此时仍需要对探测部分的焦距进行微调，从而使设备的性能达到最佳水平。但是现有技术中，检测设备还无法对探测组件的聚焦或其他光学参数进行检测及校准，从而影响检测光路系统的检测效率。

发明内容

本申请实施例提供一种校准片、校准装置及校准系统。

第一方面，本申请实施例提供一种校准片，应用于检测装置，所述校准片沿第一方向依次包括第一校准区域、第二校准区域以及第三校准区域；

所述第一校准区域包括多个第一条纹，多个所述第一条纹沿第二方向间隔设置，所述第二方向与所述第一方向垂直；

所述第二校准区域包括多个校准点，多个所述校准点间隔设置，并形成点阵；

所述第三校准区域包括多个第二条纹，多个所述第二条纹沿第二方向间隔设置，所述第二条纹的条纹宽度大于所述第一条纹的条纹宽度，相邻的第二条纹的间距大于相邻的第一条纹的间距。

可选的，所述第一校准区域、所述第二校准区域以及所述第三校准区域的沿第二方向的长度大于或等于所述检测装置出射的光斑沿第二方向的长度。

可选的，所述第一校准区域、所述第二校准区域以及所述第三校准区域的沿第一方向的宽度相等。

可选的，所述第一校准区域、所述第二校准区域以及所述第三校准区域的沿第一方向的宽度均为2mm。

可选的，任一个所述第一条纹与相邻的第一条纹之间的条纹间的距离和所述第一条纹的条纹宽度相等，任一个所述第二条纹与相邻的第二条纹之间的条纹间的距离和所述第二条纹的条纹宽度相等。

可选的，所述第二校准区域的校准点的直径相等或沿第二方向依次增大或依次减小。

可选的，所述校准片还包括第四校准区域，所述第四校准区域沿第二方向依次包括多个所述第一条纹、多个尺寸相等的所述校准点以及多个所述第二条纹。

第二方面，本申请实施例提供一种校准装置，所述校准装置包括多轴位移台、载台以及如上述任一项实施方式所述的校准片，所述多轴位移台与所述载台连接，所述校准片设于所述载台的一侧表面，所述多轴位移台用于带动所述载台以及所述校准片共同移动。

可选的，所述载台上设置有夹持件，所述夹持件用于夹持所述校准片，以使所述校准片固定于所述载台的表面。

第三方面，本申请实施例提供一种校准系统，所述校准系统包括检测装置、承载组件以及如上述任一项实施方式所述的校准装置，所述检测装置包括光源，所述校准装置设于所述承载组件的边缘，所述光源出射的光线传输至所述校准装置的校准片上，以通过所述校准片对所述光源的出射光线进行校准。