[实用新型]一种单晶炉拉晶防掉棒装置有效

专利信息
申请号: 202121444691.6 申请日: 2021-06-28
公开(公告)号: CN215517730U 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 张燕辉 申请(专利权)人: 内蒙古华耀光电科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 010000 内蒙古自治区呼和浩特*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉拉晶防掉棒 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉拉晶防掉棒装置,其特征在于:包括

连接构件(1),用于与单晶炉的上轴重锤(5)相连接;

夹持机构(2),与所述连接构件(1)相铰接,用于在晶棒(6)的凹环(61)处对晶棒(6)进行夹持。

2.根据权利要求1所述的单晶炉拉晶防掉棒装置,其特征在于:所述夹持机构(2)包括与所述连接构件(1)相铰接的夹持臂(21)及固定连接在所述夹持臂(21)上的夹持抱爪(22),所述夹持抱爪(22)用于在晶棒凹环(61)处夹持住所述晶棒(6)。

3.根据权利要求2所述的单晶炉拉晶防掉棒装置,其特征在于:所述夹持机构(2)还包括与连接构件(1)及夹持臂(21)相连接的驱动件(23),所述驱动件(23)能够驱动夹持抱爪(22)夹持或者松开晶棒(6)。

4.根据权利要求3所述的单晶炉拉晶防掉棒装置,其特征在于:所述驱动件(23)为液压杆,所述液压杆的一端与连接构件(1)相连,另一端与夹持臂(21)相连。

5.根据权利要求2所述的单晶炉拉晶防掉棒装置,其特征在于:所述夹持机构(2)包括两个所述夹持臂(21)及两个分别与所述夹持臂(21)相连接的夹持抱爪(22)。

6.根据权利要求3所述的单晶炉拉晶防掉棒装置,其特征在于:所述防掉棒装置还包括称重传感器(3),所述称重传感器(3)用于称取晶棒(6)重量。

7.根据权利要求6所述的单晶炉拉晶防掉棒装置,其特征在于:所述防掉棒装置还包括与所述称重传感器(3)及与所述驱动件(23)相连接的控制器(4),所述控制器(4)用于接收所述称重传感器(3)发送的重量检测信号,并在检测到的晶棒(6)重量超过预设值时控制所述驱动件(23)驱动所述夹持抱爪(22)夹持住所述晶棒(6)。

8.根据权利要求7所述的单晶炉拉晶防掉棒装置,其特征在于:晶棒(6)重量的预设值为200kg。

9.根据权利要求2所述的单晶炉拉晶防掉棒装置,其特征在于:所述连接构件(1)为连接杆,连接杆的一端与上轴重锤的上部相连接,另一端与所述夹持臂(21)的顶端相铰接。

10.根据权利要求2所述的单晶炉拉晶防掉棒装置,其特征在于:所述夹持抱爪(22)材质为四氟材料。

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