[实用新型]一种Z轴动态移动的激光高速错位打孔装置

权利要求书

1.一种Z轴动态移动的激光高速错位打孔装置，其特征在于，包括X-Y-Z三轴外部运动系统(7)和工控机(1)，所述X-Y-Z三轴外部运动系统(7)包括X-Y平面运动装置和Z轴升降装置，所述Z轴升降装置上安装有激光发生系统，所述X-Y平面运动装置上安装有加工平台(8)；所述工控机(1)用于控制所述X-Y-Z三轴外部运动系统(7)和所述激光发生系统，所述Z轴升降装置能够驱动所述激光发生系统在加工过程中沿Z轴匀速上下移动。

2.根据权利要求1所述的Z轴动态移动的激光高速错位打孔装置，其特征在于，所述激光发生系统包括激光发生装置(2)，所述激光发生装置(2)的发射源与光束整形器(3)通过光路连接，所述光束整形器(3)的出光孔与转镜激光同步扫描装置(4)通过光路连接，所述转镜激光同步扫描装置(4)的输出端设有f-θ聚焦透镜组(5)，所述转镜激光同步扫描装置(4)的输出端与所述f-θ聚焦透镜组(5)的输入端垂直共线，所述f-θ聚焦透镜组(5)的输出端位于所述加工平台(8)的上方，且输出激光束指向所述加工平台(8)。

3.根据权利要求2所述的Z轴动态移动的激光高速错位打孔装置，其特征在于，所述转镜激光同步扫描装置(4)包括电动机、转镜扫描仪和振镜扫描仪，所述电动机能够驱动所述转镜扫描仪和所述振镜扫描仪转动，所述转镜扫描仪的扫描方向与所述振镜扫描仪的扫描方向相互垂直。

4.根据权利要求2所述的Z轴动态移动的激光高速错位打孔装置，其特征在于，所述f-θ聚焦透镜组(5)的焦距为420mm。

5.根据权利要求1-4任一所述的Z轴动态移动的激光高速错位打孔装置，其特征在于，所述加工平台(8)为负压吸附平台，能够将待加工的薄膜靶材吸附在加工平面上。

6.根据权利要求1-4任一所述的Z轴动态移动的激光高速错位打孔装置，其特征在于，所述加工平台(8)上设有激光加工吹气装置(6)，所述激光加工吹气装置(6)能够向所述加工平台(8)的台面吹送加工辅助气体。

7.根据权利要求6所述的Z轴动态移动的激光高速错位打孔装置，其特征在于，所述加工辅助气体为体积比80％氩气与体积比20％氧气的混合气体。