[实用新型]一种基于光电子镊的五通道微粒分离装置

权利要求书

1.一种基于光电子镊的五通道微粒分离装置，其特征在于：包括待分离溶液入口（1）、鞘流入口（2）、第一缓冲室（3）、光敏层（4）、微流体通道（5）、第二缓冲室（6）、微粒一出口（7）、微粒二出口（8）、微粒三出口（9）、微粒四出口（10）、微粒五出口（11）；第一缓冲室（3）由待分离溶液入口（1）、鞘流入口（2）、微流体通道（5）交汇而成；第二缓冲室（6）由微粒一出口（7）、微粒二出口（8）、微粒三出口（9）、微粒四出口（10）、微粒五出口（11）、微流体通道（5）交汇而成；待分离溶液从待分离溶液入口（1）注入，磷酸盐溶液作为鞘流从鞘流入口（2）注入；待分离溶液与鞘流交汇后依次流经第一缓冲室（3）、微流体通道（5）、第二缓冲室（6）；分离后的微粒一从微粒一出口（7）流出，微粒二从微粒二出口（8）流出，微粒三从微粒三出口（9）流出，微粒四从微粒四出口（10）流出，微粒五从微粒五出口（11）流出。

2.根据权利要求1所述的一种基于光电子镊的五通道微粒分离装置，其特征在于：待分离溶液入口（1）的结构长度为200μm，宽度为25μm，高度为50μm；待分离溶液入口（1）和微粒一出口（7）的轴线与微流体通道（5）的轴线夹角为60°；鞘流入口（2）的结构长度为200μm，宽度为25μm，高度为50μm；鞘流入口（2）和微粒四出口（10）的轴线与微流体通道（5）的轴线夹角为60°；微粒一出口（7）的结构长度为200μm，宽度为25μm，高度为50μm；微粒一出口（7）的轴线与微流体通道（5）的轴线夹角为60°；微粒二出口（8）的结构长度为175μm，宽度为25μm，高度为50μm；微粒二出口（8）的轴线与微流体通道（5）的轴线夹角为10°；微粒三出口（9）的结构长度为175μm，宽度为25μm，高度为50μm；微粒三出口（9）的轴线与微流体通道（5）的轴线夹角为17°；微粒四出口（10）的结构长度为200μm，宽度为25μm，高度为50μm；微粒四出口（10）的轴线与微流体通道（5）的轴线夹角为60°；微粒五出口（11）的结构长度为175μm，宽度为25μm，高度为50μm；微粒五出口（11）的轴线与微流体通道（5）的轴线夹角为70°；待分离溶液入口（1）和鞘流入口（2）在几何结构上分别关于微流体通道（5）的轴线对称。

3.根据权利要求1所述的一种基于光电子镊的五通道微粒分离装置，其特征在于：微流体通道（5）的结构长度为560μm，宽度为45μm，高度为50μm，其总长为832μm，光敏层（4）位于微流体通道（5）的上方，为了预留缓冲室，长度比微流体通道略短，长度为500μm，宽度为3μm，微流体通道（5）左边与待分离溶液入口（1）、鞘流入口（2）、第一缓冲室（3）相连接，右端与第二缓冲室（6）以及五个微粒出口相连接。

4.根据权利要求1所述的一种基于光电子镊的五通道微粒分离装置，其特征在于：所述待分离溶液入口（1） 、鞘流入口（2）、微流体通道（5）、微粒一出口（7）、微粒二出口（8）、微粒三出口（9）、微粒四出口（10）和微粒五出口（11）采用激光切割技术制成。

5.根据权利要求1所述的一种基于光电子镊的五通道微粒分离装置，其特征在于：采用等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）在ITO玻璃内侧表面喷涂镀有所述光敏层（4），所述光敏层（4）为多层膜结构，其材料由外至内依次为a-Si:H、本征态氢化非晶硅和碳化硅。