[实用新型]一种高纯电子级氯气纯化生产装置

权利要求书

1.一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：包括液氯储罐(1)、汽化器(2)、氯水洗涤塔(3)、冷凝塔(4)、吸附器(5)、脱轻精馏塔(6)、脱重精馏塔(7)、膜压机(8)、过滤器(9)和收集瓶(10)，所述液氯储罐(1)连通于汽化器(2)，所述汽化器(2)通过氯水洗涤塔(3)连通于冷凝塔(4)，所述冷凝塔(4)通过吸附器(5)连通于所述脱轻精馏塔(6)，所述脱轻精馏塔(6)连接所述脱重精馏塔(7)，所述脱重精馏塔(7)通过膜压机(8)连通于所述收集瓶(10)，所述膜压机(8)与收集瓶(10)之间连接有过滤器(9)。

2.如权利要求1所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述氯水洗涤塔(3)和吸附器(5)均设置有两组。

3.如权利要求1所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述氯水洗涤塔(3)包括塔釜(11)、循环泵(22)和洗涤管(12)，所述洗涤管(12)安装在塔釜(11)的上部，所述洗涤管(12)由下至上依次设置有第一填料层(13)、第二填料层(14)、除雾层(15)和冷凝层(16)。

4.如权利要求3所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述塔釜(11)的下部与洗涤管(12)的上部在除雾层(15)下之间连通循环泵(22)。

5.如权利要求3所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述洗涤管(12)在第一填料层(13)的下部侧边设置有未净化氯气入口(17)，所述洗涤管(12)的顶端设置有净化后氯气出口(18)。

6.如权利要求3所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述塔釜(11)的侧边设置有液位计(19)。