[实用新型]掩膜装置、显示器件成膜设备及显示器件有效
| 申请号: | 202121371216.0 | 申请日: | 2021-06-18 |
| 公开(公告)号: | CN216107158U | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
| 发明(设计)人: | 陈新亮;李楚;苑立阁 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 关向兰 |
| 地址: | 510000 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 装置 显示 器件 设备 | ||
1.一种掩膜装置,其特征在于,所述掩膜装置包括:
主遮体;和
遮蔽框,所述遮蔽框与所述主遮体相对设置;所述主遮体与所述遮蔽框之间设有弹性件,所述弹性件的一端连接于所述主遮体,另一端连接于所述遮蔽框。
2.根据权利要求1所述的掩膜装置,其特征在于,所述弹性件包括弹性部和位于所述弹性部两端的绝缘块;两个所述绝缘块分别固定于所述主遮体和所述遮蔽框,所述弹性部的两端分别与两个所述绝缘块连接。
3.根据权利要求2所述的掩膜装置,其特征在于,所述主遮体朝向所述遮蔽框的一侧设有第一安装孔,所述绝缘块设置于所述第一安装孔。
4.根据权利要求2所述的掩膜装置,其特征在于,所述遮蔽框朝向所述主遮体的一侧设有第二安装孔,所述绝缘块设置于所述第二安装孔。
5.根据权利要求2所述的掩膜装置,其特征在于,所述绝缘块的材质为绝缘陶瓷材质;
和/或,所述主遮体的材质为铝合金材质;
和/或,所述遮蔽框的材质为铝合金材质。
6.根据权利要求1所述的掩膜装置,其特征在于,所述主遮体包括多个依次首尾对接的主框条,所述遮蔽框包括多个依次首尾对接的副框条,所述副框条与所述主框条一一对应设置。
7.根据权利要求6所述的掩膜装置,其特征在于,所述弹性件对称设置在两个相对的所述副框条或两个相对的所述主框条上。
8.根据权利要求1所述的掩膜装置,其特征在于,所述主遮体对应所述遮蔽框设有凹槽,所述凹槽的各边长度大于所述遮蔽框的各边长度,以使所述遮蔽框置于所述凹槽时不会与所述凹槽的槽壁接触。
9.一种显示器件成膜设备,用于对发光显示面板进行封装,其特征在于,所述显示器件成膜设备包括:
成膜平台,所述成膜平台用于放置发光显示面板;以及
如权利要求1至8任一项所述的掩膜装置,所述掩膜装置用于对应所述发光显示面板间隔设在所述成膜平台上侧;且所述成膜平台相对于所述掩膜装置可移动。
10.一种显示器件,其特征在于,所述显示器件包括用如权利要求9所述的显示器件成膜设备封装的发光显示面板。
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