[实用新型]一种引线键合拉力测试机

权利要求书

1.一种引线键合拉力测试机，其特征在于：包括测试钩针(9)，所述测试钩针(9)用测试钩针固定杆(8)固定于拉力测试模块(7)上；所述测试钩针(9)下方设置有芯片夹具(11)，所述芯片夹具(11)安装于夹具底座(12)上，所述夹具底座(12)安装于移动平台(14)上；所述芯片夹具(11)上方设置第一显微镜(5)及第二显微镜(15)，所述第一显微镜(5)及第二显微镜(15)可以调整与芯片夹具(11)的相对位置。

2.根据权利要求1所述的一种引线键合拉力测试机，其特征在于：所述第一显微镜(5)安装于第一显微镜旋转组件(6)内，可随所述第一显微镜旋转组件(6)旋转，旋转中心位于第一显微镜固定座(4)上，旋转半径可由所述第一显微镜旋转组件(6)悬臂长度调节；所述第一显微镜固定座(4)固定于固定臂(3)上，所述固定臂(3)固定于固定架(2)上，所述固定架(2)固定于工作台(1)上。

3.根据权利要求2所述的一种引线键合拉力测试机，其特征在于：所述第二显微镜(15)安装于第二显微镜旋转组件(16)内，可随所述第二显微镜旋转组件(16)旋转，旋转中心位于第二显微镜固定座(17)上；所述第二显微镜固定座(17)安装于所述工作台(1)上，可通过调整所述第二显微镜固定座(17)的长度来调整所述第二显微镜(15)的高度。

4.根据权利要求2所述的一种引线键合拉力测试机，其特征在于：所述测试钩针(9)可随所述测试钩针固定杆(8)在竖直方向上移动，且可沿所述测试钩针固定杆(8)的轴线在水平方向旋转；所述拉力测试模块(7)固定于所述固定臂(3)上。

5.根据权利要求1所述的一种引线键合拉力测试机，其特征在于：所述芯片夹具(11)可随所述夹具底座(12)及所述移动平台(14)在水平面内移动，用以调整与所述测试钩针(9)的相对位置；所述芯片夹具(11)可通过夹具旋钮(13)控制开合，用以固定芯片。

6.根据权利要求1所述的一种引线键合拉力测试机，其特征在于：所述第一显微镜(5)与竖直方向的夹角为0-15°，所述第二显微镜(15)与水平面的夹角为0-15°。

7.根据权利要求2所述的一种引线键合拉力测试机，其特征在于：所述固定臂(3)上安装有照明灯(10)。

8.根据权利要求1所述的一种引线键合拉力测试机，其特征在于：所述移动平台(14)及测试钩针(9)的移动精度达到1微米。