[实用新型]一种与腔体绝缘的绝缘载板

说明书

本实用新型提供了一种与腔体绝缘的绝缘载板，其包含主载板、多个子载板和设置在主载板和子载板之间的多个绝缘部件。所述多个子载板通过绝缘部件固定并分布排列在主载板上；所述主载板和子载板之间的夹层距离不小于2mm。本实用新型通过在主载板与子载板之间设置绝缘部件，实现了腔体与载板的有效绝缘，同时绝缘载板需要做绝缘的点位较少且可控可视，易实现，成本低廉。再者绝缘载板的绝缘材料与载板材料不产生分子咬合，不断牙易拆卸，载板可在腔体进行维护或更换绝缘部件，清洗维护和更换绝缘部件都更方便快捷。

技术领域

本实用新型涉及PVD镀膜及PVD载板领域，尤其涉及一种与腔体绝缘的绝缘载板。

背景技术

PVD镀膜过程中会存在打火现象，而引起的打火的原因包含有局部放电、或不能有效放电、或电流在载板和腔体之间游离、无法控制电流的放电节点等都容易引起局部放电打火。现有技术中主要采用底座绝缘和有效接地这两种方式。其中底座绝缘方案需要做绝缘的点位太多，且镀层的绕镀问题等，使得该方法仍无法彻底地杜绝放电。而有效接方案是将传动轴套上一个与传动轴接触的导电环，并利用导电环将载板产生的电荷传导到腔体一并放电至接地，但该方案的由于硅片与载板的接触无法保证有效、无法保证有效放电，因此效果不理想，仍然时有发生打火的现象。因此，现有技术仍无法完全有效地解决PVD镀膜过程中存在的打火问题。

发明内容

为解决现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种与腔体绝缘的绝缘载板，其特征在于，所述绝缘载板包含主载板、多个子载板和设置在主载板和子载板之间的多个绝缘部件。所述多个子载板通过绝缘部件固定并分布排列在主载板上；所述主载板和子载板之间的夹层距离不小于2mm。

优选的，所述绝缘部件为绝缘紧固件，所述绝缘紧固件包含绝缘螺丝、绝缘垫片和绝缘套。

优选的，所述绝缘紧固件材质为PEEK(聚醚醚酮)、PFA(聚四氟乙烯烷氧基树脂)、PTFE(聚四氟乙烯)、PPS(聚苯硫醚)中的一种。

优选的，所述主载板和子载板材质均为不锈钢316。

和现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型提供的与腔体绝缘的绝缘载板，通过在主载板与子载板之间设置绝缘部件，实现了腔体与载板的有效绝缘，同时绝缘载板需要做绝缘的点位较少且可控可视，易实现，成本低廉。再者绝缘载板的绝缘材料与载板材料不产生分子咬合，不断牙易拆卸，载板可在腔体进行维护或更换绝缘部件，清洗维护和更换绝缘部件都更方便快捷。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例提供的绝缘载板的俯视结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的绝缘载板的侧视结构示意图

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1和2所示，一种与腔体绝缘的绝缘载板，所述绝缘载板包含主载板1、6个子载板2和设置在主载板和子载板之间的多个绝缘部件3。所述6个子载板通过绝缘部件3固定并分布排列在主载板1上；所述主载板1和子载板2之间的夹层距离不小于2mm。

其中，所述绝缘部件为PEEK绝缘紧固件，所述PEEK绝缘紧固件包含PEEK绝缘螺丝、PEEK绝缘垫片和PEEK绝缘套。所述主载板和子载板材质均为不锈钢316。