[实用新型]一种薄膜厚度均匀性的改善装置

权利要求书

1.一种薄膜厚度均匀性的改善装置，其特征在于，包括：底座、支撑架、转动辊、从动辊、驱动机构、调整机构、加热机构和散热机构；

所述支撑架包括两个固定架，两个所述固定架均设置于所述底座的一面上，所述驱动机构设置于一所述固定架上，所述转动辊的一端转动设置于一所述固定架上，另一端穿过另一所述固定架与所述驱动机构连接，所述从动辊的每一端通过所述调整机构与一所述固定架连接，所述散热机构设置于一所述固定架上，且所述散热机构朝向所述转动辊；

所述转动辊的内部具有空腔，所述加热机构设置于所述空腔内。

2.根据权利要求1所述的薄膜厚度均匀性的改善装置，其特征在于：所述驱动机构包括固定板、第一电机、减速器和保护壳，所述固定板安装于一所述固定架上，所述第一电机设置于所述固定板的一面上，所述第一电机的输出轴通过所述减速器与所述转动辊连接，所述保护壳套设于所述第一电机的外侧，且所述保护壳与所述固定板可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的薄膜厚度均匀性的改善装置，其特征在于：所述调整机构包括两个第一滑轨、两个第二滑轨、第二电机和第三电机，每一所述第一滑轨设置于一所述固定架上，每一所述第一滑轨内设置有一第一丝杆，所述第二电机的输出轴穿过一所述第一滑轨与一所述第一丝杆连接，每一所述第一丝杆上移动设置有一第一滑块，每一所述第一滑块滑动于一所述第一滑轨上，每一所述第二滑轨设置于一所述第一滑块上，每一所述第二滑轨内设置有一第二丝杆，所述第三电机的输出轴穿过一所述第二滑轨与一所述第二丝杆连接，每一所述第二丝杆上移动设置有一第二滑块，每一所述第二滑块滑动于一所述第二滑轨上，所述从动辊的一端转动设置于一所述第二滑块上，另一端转动设置于另一所述第二滑块上。

4.根据权利要求3所述的薄膜厚度均匀性的改善装置，其特征在于：每一所述第二滑块上开设有放置槽，每一所述放置槽内设置有一轴承，所述从动辊的一端与一所述轴承转动连接，另一端与另一所述轴承转动连接。

5.根据权利要求4所述的薄膜厚度均匀性的改善装置，其特征在于：每一所述第一滑轨与一所述第二滑轨垂直。

6.根据权利要求5所述的薄膜厚度均匀性的改善装置，其特征在于：每一所述第一滑轨的一侧设置有第一支撑板，每一所述第二电机设置于一所述第一支撑板的一面上。

7.根据权利要求6所述的薄膜厚度均匀性的改善装置，其特征在于：每一所述第二滑轨的一侧设置有第二支撑板，每一所述第三电机设置于一所述第二支撑板的一面上。

8.根据权利要求1所述的薄膜厚度均匀性的改善装置，其特征在于：所述加热机构包括加热管和三个加热器，所述加热管环绕于所述转动辊的内侧壁上，两个所述加热器位于所述空腔的两端，另一所述加热器位于所述空腔的中点，三个所述加热器均用于加热所述加热管。

9.根据权利要求8所述的薄膜厚度均匀性的改善装置，其特征在于：所述转动辊远离所述驱动机构的一端开设有散热孔，且所述转动辊上设置有盖板，所述盖板活动盖合所述散热孔。

10.根据权利要求9所述的薄膜厚度均匀性的改善装置，其特征在于：所述散热机构包括冷却盒、风机和风管，所述冷却盒设置于一所述固定架上，所述冷却盒与所述风机连接，所述风管的一端与所述风机连接，另一端连接出气板，所述出气板上开设有若干出气口，若干所述出气口等距开设，且若干所述出气口朝向所述转动辊。