[实用新型]一种光谱共焦探头精确对准装置

说明书

本实用新型公开了一种光谱共焦探头精确对准装置，包括光源，点状靶标，准直物镜，分光棱镜，角锥棱镜，成像物镜，面阵相机，胶合五棱镜，聚焦物镜，第一光谱共焦探头，聚焦物镜，第二光谱共焦探头，其中聚焦物镜和聚焦物镜相对于胶合五棱镜对称放置，其中点状靶标和准直物镜组成平行光管，形成准直光路，胶合五棱镜由镀半反半透膜的五棱镜和22.5度直角棱镜组成，五棱镜的出光面镀有半反半透膜，胶合面镀有半反半透膜，第一光谱共焦探头由色散镜头和针孔组成，第二光谱共焦探头由色散镜头和针孔组成。本实用新型提供可以实现两个光谱共焦探头精密对准的对准装置和对准方法，可以很好的解决两探头的对准问题。

技术领域

本实用新型涉及视觉检测技术领域，具体来说，涉及一种光谱共焦探头精确对准装置。

背景技术

随着智能制造的不断发展，二维信息已经不能满足检测测量需求，三维测量已经逐步深入到各行各业中，传统的三角法三维测量有其局限性，如精度低、对曲面、凹坑、狭缝、高反光等被测试表面效果较差，光谱共焦技术由于其采用了照明成像共光路的设计，可以很好的解决上述问题，目前已经得到越来越广阔的应用。但是光谱共焦探头的三维测量范围一般不大，当需要测量较大三维尺寸时，往往需要采用两组探头，利用双头对射的方式实现大范围和高精度的测量。随之而来就带来一个很大的问题，就是怎么样实现两个光谱共焦探头的对准，目前主要采用机械的方式保证，如果被测样品的上下表面比较平坦，这种方式也可以实现较高精度的测量，但是如果被测样品上下表面面型变化较大，则测量结果误差就会很大。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光谱共焦探头精确对准装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光谱共焦探头精确对准装置，包括光源，点状靶标，准直物镜，分光棱镜，角锥棱镜，成像物镜，面阵相机，胶合五棱镜，聚焦物镜，第一光谱共焦探头，聚焦物镜，第二光谱共焦探头，其中聚焦物镜和聚焦物镜相对于胶合五棱镜对称放置，其中点状靶标和准直物镜组成平行光管，形成准直光路，胶合五棱镜由镀半反半透膜的五棱镜和22.5度直角棱镜组成，五棱镜的出光面镀有半反半透膜，胶合面镀有半反半透膜，第一光谱共焦探头由第一色散镜头和第一针孔组成，第二光谱共焦探头由第二色散镜头和第二针孔组成。

进一步的，所述光源的光谱范围在所需要对准第一光谱共焦探头和第二光谱共焦探头的光谱范围内。

进一步的，所述光源的光谱波长应为单波长，可以是所需要调试探头光谱范围内的任何一种波长。

进一步的，所述胶合五棱镜由五棱镜和具有22.5度角度的直角棱镜组成，所述五棱镜在出光面镀有半反半透膜，所述五棱镜和具有22.5度角直角棱镜胶合面镀有半反半透膜。

进一步的，所述分光棱镜可以是普通的半反半透分光片。

进一步的，所述分光棱镜和胶合五棱镜的半反半透膜可以是其他透反比例。

进一步的，所述成像物镜、聚焦物镜、聚焦物镜应为无限共轭成像模式。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型提供可以实现两个光谱共焦探头精密对准的对准装置，可以很好的解决两探头的对准问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型入射光束和胶合五棱镜垂直调节光路示意图；