[实用新型]新型晶片表面金属化机台

说明书

本实用新型提供了一种新型晶片表面金属化机台。该技术方案在机台上整合了冲洗组件。具体来看，本实用新型在机台侧端设置滑槽，承载有供水管的框体可通过滑块在滑槽上平移，从而调节冲洗位置；供水管一端连接至高位水箱，另一端设置喷头，可对位于操作区的晶片进行冲洗；操作区之间设有低位的凹槽，可将冲洗水引导至引流槽，进而输送至集水槽收集；水箱通过供水管直连水源，可利用水泵方便的进行上水。应用本实用新型，可在执行金属化工艺之前方便的进行冲洗，省去了单独的冲洗工序和物料转移过程，在一定程度上提升了工艺效率，具有突出的技术优势。

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造技术领域，具体涉及一种新型晶片表面金属化机台。

背景技术

在晶圆制造过程中，把各个元件连接到一起的材料、工艺、连线过程一般称为金属化工艺。金属化工艺位于光刻工艺之后，通过真空蒸发、溅射或CVD技术在整个晶圆表面淀积一层导电金属薄层。金属化工艺对晶圆品质具有直接影响。

现有技术中，晶圆的金属化工艺是在金属化机台上完成的，常规金属化机台不具有清洗功能，因此需要将晶圆进行前置清洗后再转移到金属化机台进行操作。在这种情况下，如果能开发一种兼具清洗功能且便于供、排水的金属化机台，则有望提高整体工艺效率。

发明内容

本实用新型旨在针对现有技术的技术缺陷，提供一种新型晶片表面金属化机台，以解决常规金属化机台不具有清洗功能的技术问题。

为实现以上技术目的，本实用新型采用以下技术方案：

新型晶片表面金属化机台，包括机台主体，滑槽，滑块，锁紧螺栓，框体，环体，供水管，喷头，上水管，水箱，出水管，阀门，操作区，凹槽，引流槽，集水槽，其中，在机台主体的侧端设置有滑槽，在滑槽中具有滑块，在滑块上丝接有锁紧螺栓，在滑块上固定连接有框体，在框体上焊接有环体，供水管穿入环体，在供水管的末端固定连接有喷头，在机台主体上固定连接有上水管，在上水管的上端固定连接有水箱，上水管的下端连接至水源，在上水管上设置有水泵，在水箱的侧壁下端固定连接有出水管，在出水管上设置有阀门，供水管连接至出水管，在机台主体的上端具有若干相互间隔的操作区，在若干操作区之间具有若干凹槽，在若干凹槽的最低点处设置有引流槽，在引流槽的旁侧放置有集水槽。

作为优选，在机台主体的侧端焊接有挂环，在集水槽上焊接有挂钩，所述挂钩与所述挂环相互挂接。

作为优选，在机台主体的侧端焊接与支架，水箱固定连接在所述支架上端。

作为优选，在出水管上设置有另一水泵。

作为优选，在机台主体的下端设置有若干脚轮，所述脚轮为万向脚轮。

在以上技术方案中，机台主体为本实用新型基础结构，用于起到支撑、承载作用；滑槽用于供滑块在其上滑动；滑块用于承载框体，从而可带动框体沿滑槽平移滑动；当滑块移动完毕后，锁紧螺栓用于对其当前位置予以固定；框体用于设置环体；环体用于供供水管贯穿，基于二者之间的静摩擦力，对供水管起到一定程度的固定作用；供水管用于将水分输入至喷头；喷头用于将水分喷出，从而对放置在机台主体上端的物料起到冲洗作用；上水管上设置有水泵，用于将来自水源的水分输入至水箱；水箱位置高于喷头，既起到暂时储水作用又利用位差提供喷水动力；出水管用于将水箱中的水分输入至供水管；阀门用于控制出水管的通断；操作区用于放置待冲洗的物料；凹槽位置低于操作区，用于承接冲洗水并将其引导至引流槽；引流槽用于将冲洗水进一步导入集水槽；集水槽用于对冲洗水起到容纳作用。