[实用新型]检查装置

说明书

本实用新型提供一种能够在获得充分长度的行程的同时缩短探针的自由长度的检查装置。检查装置(10)具备第1弹性体(100)及第1柱塞(110)。第1弹性体(100)划分形成有孔(102)。第1柱塞(110)与第1弹性体(100)重叠。在孔(102)的内壁形成有导电膜(104)。第1柱塞(110)与导电膜(104)电连接。

技术领域

本实用新型涉及检查装置。

背景技术

目前正在开发用于对集成电路(IC)等电子装置的特性进行检查的多种检查装置。如专利文献1所记载，检查装置包括插座和插入插座中的探针。探针具有使用弹簧施力的柱塞。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-76587号公报

实用新型内容

实用新型要解决的课题

在高频带检查的需求等各种需求中，存在希望缩短探针的自由长度的需求。例如如专利文献1所记载，在柱塞被弹簧施力的情况下，若探针的自由长度缩短，则存在无法获得充分长度的行程的情况。

本实用新型的目的之一在于在获得充分长度的行程的同时缩短探针的自由长度。本实用新型的其他目的根据本说明书的记载可以明确。

用于解决课题的手段

本实用新型的一方案为一种检查装置，其包括：

第1弹性体，其划分形成有孔；以及

柱塞，其与所述第1弹性体重叠，

在所述孔的内壁上形成有导电膜，

所述柱塞与所述导电膜电连接。

实用新型效果

根据本实用新型的上述方案，能够在获得充分长度的行程的同时缩短探针的自由长度。

附图说明

图1是实施方式1的检查装置的俯视图。

图2是图1的A-A′剖视图。

图3是示出实施方式1的检查装置的详细的立体剖视图。

图4是用于说明实施方式1的检查装置的制造方法的一例的图。

图5是变形例的检查装置的立体剖视图。

图6是实施方式2的检查装置的立体剖视图。

附图标记说明

10 检查装置

10A 检查装置

10B 检查装置

100 第1弹性体

100B 插座

102 孔

102B 孔

104 导电膜

104B 导电膜

106A 第2弹性体

106B 第2弹性体

110 第1柱塞

110B 第1柱塞

112 第1顶端接触件

112B 第1顶端接触件