[实用新型]一种恒温加热的光学晶体拉晶炉有效

专利信息
申请号: 202121305423.6 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN216237367U 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 吴帅波;韩春霞 申请(专利权)人: 河北烁光晶体有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;C30B15/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 072450 河北省保定市望*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 恒温 加热 光学 晶体 拉晶炉
【说明书】:

实用新型公开了一种恒温加热的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体、空气接口、流量控制阀和调压阀。本实用新型恒温加热的光学晶体拉晶炉,发热电阻在炉框层的内部通电发热,发热电阻散发的热量由传热板在炉框层的内部传递,同时热量通过漏孔传递到网格层中,网格层之间相互连通,保持网格层内部温度的恒定,同时网格层内部通过回温孔与炉框层的内侧相互连通,保持炉框层的内侧与网格层内部的温度相互稳定,并且由导热短板和导热插板维持网格层内部与炉框层内侧温度的相对平衡,该结构能够保持炉内恒温的效果,稳定生产效率,并节约了生产支出。

技术领域

本实用新型涉及拉晶炉技术领域,具体为一种恒温加热的光学晶体拉晶炉。

背景技术

利用拉晶炉拉制单晶的主要工序包括装炉、抽真空、检漏、熔料、熔接、缩颈、引晶、放肩、等径、收尾、取段、加料、熔接等,当坩埚运行到一定时间后,炉台进行拉停,功率降为零,炉台通过氩气冷却,冷却过程中虽然功率降为零,但加热系统和护盘压片都为石墨件,比热容比较大,也就是说内部蓄热能力较大,在同种情况下,保温桶为碳碳材质,坩埚为二氧化硅材质,比热容都比较大,除此之外坩埚中存在部分埚底料,内部含有的能量也比较大。

但是现有的拉晶炉内部的保温效果比较普通,炉内无法实现恒温的效果,从而导致拉晶炉在开炉升温时需要耗费大量的能源,不仅降低了生产效率,还加大了生产支出。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种恒温加热的光学晶体拉晶炉,能够保持炉内恒温的效果,稳定生产效率,并节约了生产支出,可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种恒温加热的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体、空气接口、流量控制阀和调压阀,所述拉晶炉本体的顶部设有空气接口,所述空气接口与拉晶炉本体之间设有流量控制阀,所述空气接口的顶端设有调压阀;

所述拉晶炉本体包括外炉体、内炉体、回温件、封口框、风幕机和防护网,所述外炉体的内部设有内炉体,所述内炉体的内侧固定安装有回温件,所述内炉体的顶端固定安装有封口框,所述封口框的内部设有风幕机,所述风幕机的前端开设有防护网。

优选的,所述内炉体包括炉框层、发热电阻、传热板、中隔板、漏孔和网格层,所述炉框层的内部设有发热电阻,两个所述发热电阻之间设有传热板,所述传热板的顶端连接在中隔板上,所述中隔板上开设有漏孔,所述中隔板的上方设有网格层。

优选的,所述回温件包括回温插板、回温孔、导热短板和导热插板,所述回温插板上开设有回温孔,所述回温插板的前端固定连接有导热短板,所述回温插板的后端固定连接有导热插板。

优选的,所述回温孔与炉框层的内部相互连通,导热插板安插进入到网格层的内部。

优选的,所述网格层内部设有回温网格,各个回温网格之间相互连通,回温网格通过回温孔与炉框层的内侧相互连通。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

本实用新型恒温加热的光学晶体拉晶炉,发热电阻在炉框层的内部通电发热,发热电阻散发的热量由传热板在炉框层的内部传递,同时热量通过漏孔传递到网格层中,网格层之间相互连通,保持网格层内部温度的恒定,同时网格层内部通过回温孔与炉框层的内侧相互连通,保持炉框层的内侧与网格层内部的温度相互稳定,两个风幕机吹出的气流防止外炉体内的温度快速扩散,并且由导热短板和导热插板维持网格层内部与炉框层内侧温度的相对平衡,该结构能够保持炉内恒温的效果,稳定生产效率,并节约了生产支出。

附图说明

图1为本实用新型的正视图;

图2为本实用新型拉晶炉本体的剖视图;

图3为本实用新型图2中A处的放大图;

图4为本实用新型回温件的放大图;

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