[实用新型]一种用于安装NXT-MK2光刻机的基础座

权利要求书

1.一种用于安装NXT-MK2光刻机的基础座，包括IF基础座、MBSF基础座和WHSF基础座，所述IF基础座和WHSF基础座分别设于MBSF基础座的左右两侧，其特征在于，所述MBSF基础座的具体结构为：包括MBSF基础座RC面体；所述MBSF基础座RC面体的上表面以矩形阵列的方式设有四个MBSF基础座内嵌不锈钢块，其中，靠近IF基础座的两个MBSF基础座内嵌不锈钢块上均设有MBSF基础座防震脚配件组件，所述MBSF基础座防震脚配件组件包括：一个圆环形的MBSF基础座防震脚配件、一个卡设于圆环形的MBSF基础座防震脚配件的顶部中心的圆柱形的MBSF基础座防震脚配件、一个设于圆环形的MBSF基础座防震脚配件一侧的长方体状的MBSF基础座防震脚配件；所述MBSF基础座RC面体的四周外侧表面上均固定连接有一个MBSF基础座内嵌配件C型钢。

2.根据权利要求1所述的用于安装NXT-MK2光刻机的基础座，其特征在于：所述MBSF基础座防震脚配件组件还包括一个圆形的MBSF基础座防震脚配件、两个分别对称设于圆形的MBSF基础座防震脚配件的左右两侧且互相衔接的MBSF基础座防震脚配件，所述圆形的MBSF基础座防震脚配件位于长方体状的MBSF基础座防震脚配件远离圆环形的MBSF基础座防震脚配件的一侧、靠近MBSF基础座RC面体的外侧。

3.根据权利要求1所述的用于安装NXT-MK2光刻机的基础座，其特征在于：所述MBSF基础座防震脚配件组件中的每一个MBSF基础座防震脚配件上均设有用于安装螺丝的安装孔，且安装孔内均设有螺纹衬套。

4.根据权利要求1所述的用于安装NXT-MK2光刻机的基础座，其特征在于，所述IF基础座的具体结构为：包括IF基础座主面板；

所述IF基础座主面板的上表面左侧设有第二IF基础座面板活动板、第三IF基础座面板活动板、第四IF基础座面板活动板、第五IF基础座面板活动板和第六IF基础座面板活动板；

所述IF基础座主面板的上表面右侧设有第十IF基础座面板活动板；

所述IF基础座主面板的上表面中端位置上设有第一IF基础座面板活动板、第七IF基础座面板活动板、第八IF基础座面板活动板和第九IF基础座面板活动板；

所述IF基础座主面板的下表面上设有第一IF基础座支撑立柱、第二IF基础座支撑立柱、第三IF基础座支撑立柱、第四IF基础座支撑立柱、第五IF基础座支撑立柱和第六IF基础座支撑立柱；所述第四IF基础座支撑立柱与IF基础座主面板之间连接有一个L形不锈钢配件；所述IF基础座主面板外侧表面四周上设有IF基础座钢构框架；所述IF基础座主面板下表面上连接有一个不锈钢连接件。

5.根据权利要求1所述的用于安装NXT-MK2光刻机的基础座，其特征在于，所述WHSF基础座的具体结构为：包括WHSF基础座RC面体，所述WHSF基础座RC面体的上表面的前后两侧均设有一个WHSF基础座防震脚配件，所述WHSF基础座RC面体的上表面上设有一个WHSF基础座测试点内嵌铁块，所述WHSF基础座RC面体的外侧表面的四周上均设有一个WHSF基础座内嵌配件C型钢。