[实用新型]一种气体混合系统有效
申请号: | 202121293079.3 | 申请日: | 2021-06-10 |
公开(公告)号: | CN215876906U | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 杨高峰;陆峰 | 申请(专利权)人: | 上海磊诺安防技术股份有限公司 |
主分类号: | B01F23/10 | 分类号: | B01F23/10;B01F35/21;B01F35/00 |
代理公司: | 北京纽盟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11456 | 代理人: | 许玉顺 |
地址: | 201799 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气体 混合 系统 | ||
1.一种气体混合系统,其特征在于:包括其他原料端和氧气原料端,还包括通过管路连接的混合管路,混合管路并联设置有多个接头连接钢瓶,且存在一个钢瓶底部设有电子秤;
所述氧气原料端通过独立的第一管路连通混合管路;
所述其他原料端共用一个第二管路接通所述混合管路;
所述其他原料端的所有原料管路的出气端处于以第二管路接口为圆心的圆的圆周上;
所述第一管路、所述第二管路均连通真空泵;
所述第一管路、所述第二管路与所述混合管路、所述真空泵之间均设有截止阀。
2.根据权利要求1所述一种气体混合系统,其特征在于:所述其他原料端包括机动可调原料管路和He、N2、Ar、CO、CO2、H2、CH4、CH3Br中的一种或多种或全部原料形成的管路。
3.根据权利要求1所述一种气体混合系统,其特征在于:所述其他原料端和氧气原料端的每个管路都设有压力表、单向阀和截止阀。
4.根据权利要求2所述一种气体混合系统,其特征在于:所述第二管路的接头通过高压软管连接所述其他原料端中的单一原料管路,使用CO2作为原料时,为独立高压软管。
5.根据权利要求1所述一种气体混合系统,其特征在于:所述第一管路和所述第二管路均包含放空管路、混合输送管路和真空泵连接管路,混合输送管路连通所述混合管路。
6.根据权利要求5所述一种气体混合系统,其特征在于:与所述混合输送管路并联的设有针阀混合管路。
7.根据权利要求1所述一种气体混合系统,其特征在于:所述第一管路和所述第二管路均连接有压力表。
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