[实用新型]半自动UV解胶机

说明书

本申请涉及一种半自动UV解胶机，包括机柜、载物台以及照射灯；载物台设置在机柜上，载物台上设置有晶圆放置区，晶圆放置区处开设有照射孔；照射灯位于载物台下方；照射灯一侧还设置有光强检测仪；机柜上还设置有用于控制光照时间的自动控制系统。光强检测仪能够对照射灯的光照强度进行准确检测，自动控制系统根据额定光照能量自动计算光照时间，从而对照射灯的光照能量进行精准计算，提升UV解胶效果。

技术领域

本申请涉及晶圆加工设备的领域，尤其是涉及一种半自动UV解胶机。

背景技术

目前，在晶圆切割后，需要将UV膜进行解胶处理，降低UV膜的黏性，以便于将切割后的单粒晶片从UV膜上取下，从而便于后续加工。

常规的解胶方法是使用解胶机，UV解胶机内部设置有照射灯，UV膜在照射灯的照射下黏性降低，以便于晶片从UV膜上剥落。

对于不同尺寸的UV膜来说，解胶所需的光照能量不同，而光照能量是由光照强度和光照时间决定。但是常规的UV解胶机中照射灯的光照强度不便于测量，因此照射灯的光照能量不便于测量，因此所需光照能量和实际光照能量之间容易存在误差，影响解胶效果。

实用新型内容

为了提升解胶效果，本申请提供一种半自动UV解胶机。

本申请提供的半自动UV解胶机采用如下的技术方案：

一种半自动UV解胶机，包括机柜、设置在机柜上的载物台以及照射灯；所述载物台上设置有晶圆放置区，所述晶圆放置区处开设有照射孔；所述照射灯位于载物台下方；所述照射灯一侧还设置有光强检测仪；所述机柜上还设置有用于控制光照时间的自动控制系统。

通过采用上述技术方案，照射灯打开后，光强检测仪能够对照射灯的光照强度进行准确检测，将光照强度数据传输给自动控制系统后，自动控制系统根据额定光照能量自动计算光照时间，因此能够对照射灯的光照能量进行精准计算，从而提升UV解胶效果。

优选的，所述机柜内部设置有导轨，所述导轨上设置有灯座，所述照射灯设置在灯座上；所述导轨的一侧设置有用于驱动灯座沿导轨移动的电机；所述自动控制系统还用于控制电机的转速。

通过采用上述技术方案，电机能够带动灯座沿导轨移动，从而实现照射灯对UV膜的扫射，有效提升灯光照射的均匀性。

优选的，所述照射灯呈长条形设置，并且所述照射灯的长度方向与导轨的长度方向垂直。

通过采用上述技术方案，长条状的照射灯能够便于进行扫射，提升灯光照射的均匀性。

优选的，所述载物台上开设有通光孔，所述光强检测仪设置在载物台的上方，并且所述光强检测仪位于通光孔的正上方。

通过采用上述技术方案，光强检测仪通过通光孔对照射灯的光照强度进行检测，以便于降低其他光源对光强检测仪的影响，提升光强检测的精准度。

优选的，所述光强检测仪与载物台之间设置有遮光板，并且所述遮光板设置在通光孔的周侧。

通过采用上述技术方案，遮光板能够对光强探测仪和载物台之间的缝隙进行遮挡，从而提升光强探测仪检测的精度。

优选的，所述遮光板呈锥筒状设置，并且所述遮光板的的小端朝向光强检测仪，所述遮光板大端固定在载物台上。

通过采用上述技术方案，能够提升光强检测仪对照射灯光照强度检测的精准性。

优选的，所述载物台位于机柜内部，所述载物台两侧均设置有滑轨，所述滑轨与机柜连接，并且所述载物台设置在滑轨上，并且所述机柜上开设有供载物台通过的通道。

通过采用上述技术方案，载物台能够滑动至机柜外侧，便于放置产品，并且机柜能够将照射灯与机柜外接隔绝，从而降低机柜外界光源对光强检测仪检测精度的影响。