[实用新型]一种硅基OLED显微亮度检测系统

说明书

实用新型提供一种硅基OLED显微亮度检测系统，包括：由显微成像式彩色亮度计、辅助升降台、多维精密测试平台和控制盒；所述的显微成像式彩色亮度计，用于被测样品的成像及亮度测试；所述辅助升降台，用于显微成像式亮度计与被测样品之间距离的调整，多维精密测试平台，用于被测样品姿态的调整；所述控制盒，用于多维精密测试平台的电动控制，通过参数设置实现多维精密测试平台的位移和角度调整。其中，显微成像式彩色亮度计采用3000万以上分辨率黑白相机作为光电响应器件，通过三色滤光片进行分光，待测物体通过显微光学放大系统在相机焦平面成像；多维控制系统包括前后、左右、上下、旋转、俯仰等维度的调节。

技术领域

本实用新型属于显微检测技术领域，具体涉及一种硅基OLED显微亮度检测系统。

背景技术

硅基OLED(OLED：Organic Light Emitting Diode)是以单晶硅作为有源驱动背板而制作的主动式有机发光二极管显示器(AMOLED：Active Matrix/Organic LightEmitting Diode)，是新一代的显示技术。它实现了OLED光电子技术与硅基集成电路微电子技术的结合。硅基OLED整体尺寸一般小于2英寸，属于微型显示器，但其分辨率可达到1920×1200的水平。在对硅基OLED做像素级的光学特性检测时，需要一个能够分辨微米量级的成像亮度计，同时还需要一套抗振性能佳、位置精确的载物台才能保证像素测试的准确性。

显微检测系统多用于生物、医疗、电子产品生产等领域，位移控制机构可包含水平、垂直、旋转、俯仰等维度，机械机构和参数指标根据被测对象的不同而有所差异。专利文献库中“一种产品外观显微检测装置”，专利号为：ZL 2020 2 0464706.4，其内容公布了利用显微镜和拍摄件组成检测组件，在XYZ三个维度内调节方位，实现了液晶显示屏缺陷的自动检测；具体的：主要是为了解决现有技术中存在的自动检测装置无法对细微的缺陷进行识别，需要通过人工显微检测，自动化程度低，检测的准确性和标准统一性无法得到保证，作业效率低下，导致检测成本增大的技术问题。检测装置主要包括：作业台、设置于所述作业台且用于输送待测产品的载物机构，以及间隔设置的两个检测机构，两个所述检测机构之间形成供所述待测产品置入的检测空间；所述载物机构包括用于放置所述待测产品的载物组件和用于驱动所述载物组件相对所述作业台移动的输送机构；两个所述检测机构均包括设置于所述作业台的升降组件和设置于所述升降组件的检测组件，所述检测组件包括至少一个显微镜和与至少一个所述显微镜连接用以对所述待测产品进行拍摄的拍摄件，至少一个所述显微镜的入光面位于所述检测空间。另一专利，专利名称“一种基于血小板投影成像的检测装置及其方法”，专利号为：ZL 2017 1 0941056.0，利用千万像素规模的图像传感器芯片直接对待测血液样本进行拍照，提高了检测效率；还有一专利名称为：“一种红外玻璃缺陷显微检测系统”，专利号为：ZL 2019 2 0378843.3，利用变倍显微镜、长工作距离物镜和红外相机构成显微成像装置，实现了红外玻璃内微观缺陷的可视化观察。

现有的显微检测机构多采用高分辨率相机和变倍镜头，配合位移控制系统实现待测物体的外观或内部缺陷的检测，缺点主要包括以下几点：(1)显微分析系统直接对相机获取的图像进行分析，从而获取样品缺陷信息，但是不包括亮度色度参数；专利中均未提及显微成像的测试设备；(2)位移控制维度大多在XYZ三个方向；样品载物台及夹具设计的专用性较强，不具备通用性，无法直接应用于硅基OLED的测试。

实用新型内容

本实用新型提出了一种硅基OLED显微亮度检测系统，将显微成像式彩色亮度计配合多维控制系统，实现硅基OLED像素级的亮度色度检测。其中，显微成像式彩色亮度计采用3000万以上分辨率黑白相机作为光电响应器件，通过三色滤光片进行分光，待测物体通过显微光学放大系统在相机焦平面成像；多维控制系统包括前后、左右、上下、旋转、俯仰等维度的调节，尺寸调节精度小于1μm，角度调节精度小于10＇。

本实用新型的目的是将显微成像式彩色亮度计引入到显微检测领域，实现微米量级亮度色度的校准；同时采用多维度调整结构，确保待测物体能够在成像亮度计的焦面上清晰成像。