[实用新型]一种真空镀膜机冷却装置有效
申请号: | 202121288324.1 | 申请日: | 2021-06-09 |
公开(公告)号: | CN215103535U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 袁旭庆 | 申请(专利权)人: | 福建国泰光电设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350000 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 冷却 装置 | ||
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,且公开了一种真空镀膜机冷却装置,包括安装箱,所述安装箱的内底壁放置有镀膜机,所述安装箱的底部左右两侧均固定安装有稳定块,所述安装箱的前侧铰接有箱门,所述安装箱的内壁左右两侧均固定安装有的安装板,两个所述安装板的相对侧侧壁均开设有转动槽。该真空镀膜机冷却装置,通过启动伺服电机,伺服电机的输出轴通过螺纹杆带动两个滑块相对或相向移动,使滑块上的风扇上下移动,从而对镀膜机的两侧进行散热,通过启动转动电机,转动电机的输出轴带动转动箱转动,转动箱转动带动两个滑动杆在滑槽内圆周运动,从而更进一步的扩大了对镀膜机进行散热的范围。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体为一种真空镀膜机冷却装置。
背景技术
真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面通常是非金属材料,属于物理气相沉积工艺,真空镀膜技术广泛应用到包装和光伏技术领域,当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时,往往由于沉积反应或工艺要求,需要对基片进行高温加热,加热过程导致真空腔体内部温度过高。
长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变,从而使真空腔体的功能失效,现有的用于真空镀膜机的冷却装置冷却范围有限,冷却效果不够理想,不能满足实际使用需求,为解决上述问题故而提出了一种真空镀膜机冷却装置。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种真空镀膜机冷却装置,具备散热范围广的优点,解决了现有的用于真空镀膜机的冷却装置冷却范围有限,冷却效果不够理想,不能满足实际使用需求的问题。
(二)技术方案
为实现上述散热范围广目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机冷却装置,包括安装箱,所述安装箱的内底壁放置有镀膜机,所述安装箱的底部左右两侧均固定安装有稳定块,所述安装箱的前侧铰接有箱门,所述安装箱的内壁左右两侧均固定安装有的安装板,两个所述安装板的相对侧侧壁均开设有转动槽,两个所述安装板的内部均开设有分别与两个转动槽连通的安装槽,两个所述安装槽的内壁前后两侧之间均固定安装有转动电机,两个所述转动电机的输出轴均固定安装有分别位于两个转动槽内部的转动箱,两个所述转动箱相对的一侧均延伸至两个安装板之间,左右两个所述转动箱的相背侧内壁均固定安装有限位块,两个所述转动箱的内顶壁均固定安装有伺服电机,两个所述伺服电机的输出轴均固定安装有一端与限位块顶部活动连接的螺纹杆,两个所述螺纹杆的外部均螺纹连接有数量为两个的滑块,左右两个所述滑块的相对侧均固定安装有贯穿并延伸至两个安装板相对侧的风扇,两个所述转动箱的相背侧均固定安装有数量为两个且与转动槽侧壁滑动连接的滑槽杆。
优选的,所述转动槽远离镀膜机的一侧内壁连通有开设在安装板上且与两个滑槽杆相适配的环形槽。
优选的,两个所述滑块的内部均开设有与螺纹杆相适配的通孔,所述通孔的孔内壁侧壁设有与螺纹杆相适配的螺纹。
优选的,所述滑块远离镀膜机的一侧与转动箱的内壁滑动连接。
优选的,两个所述稳定块的底部均固定安装有橡胶缓冲垫,所述橡胶缓冲垫的厚度为三毫米。
优选的,所述螺纹杆的外部设置有两段方向相反的螺纹,两段螺纹的长度相等。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种真空镀膜机冷却装置,具备以下有益效果:
该真空镀膜机冷却装置,通过启动伺服电机,伺服电机的输出轴通过螺纹杆带动两个滑块相对或相向移动,使滑块上的风扇上下移动,从而对镀膜机的两侧进行散热,通过启动转动电机,转动电机的输出轴带动转动箱转动,转动箱转动带动两个滑动杆在滑槽内圆周运动,从而更进一步的扩大了对镀膜机进行散热的范围。
附图说明
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