[实用新型]用于银浆与基体间接触电阻测试的探头以及测试装置

权利要求书

1.一种用于银浆与基体间接触电阻测试的同轴探针，其特征在于，包括中心电极(11)以及外部电极(12)，所述中心电极(11)作为电流探针，用于接电源正极或负极，所述外部电极(12)为电压探针，所述外部电极用于连接电压表或电势差测试仪或高精度数字源表。

2.根据权利要求1所述的一种用于银浆与基体间接触电阻测试的同轴探针，其特征在于，所述中心电极(11)为同轴探针的中心轴，所述中心电极(11)以及外部电极(12)之间留有间隔。

3.根据权利要求1所述的一种用于银浆与基体间接触电阻测试的同轴探针，其特征在于，所述外部电极(12)为外部金属圆环。

4.一种用于银浆与基体间接触电阻测试的探头，其特征在于，由权利要求1-3中任一项所述用于银浆与基体间接触电阻测试的同轴探针按照阵列排布而成，所述同轴探针按照阵列排布后的图案覆盖银浆与基体间接触电阻测试的图案。

5.根据权利要求4所述一种用于银浆与基体间接触电阻测试的探头，其特征在于，所述用于银浆与基体间接触电阻测试的探头围成三个同心圆图案，其中，最内圈为一个用于银浆与基体间接触电阻测试的同轴探针，中间圈由若干个用于银浆与基体间接触电阻测试的同轴探针围合而成，最外圈由若干个用于银浆与基体间接触电阻测试的同轴探针围合而成。

6.根据权利要求5所述一种用于银浆与基体间接触电阻测试的探头，其特征在于，中间圈的同轴探针之间相隔开，不接触。

7.根据权利要求5所述一种用于银浆与基体间接触电阻测试的探头，其特征在于，最外圈的同轴探针之间相隔开，不接触。

8.根据权利要求5所述一种用于银浆与基体间接触电阻测试的探头，其特征在于，最内圈、中间圈、最外圈相隔开。

9.根据权利要求5所述一种用于银浆与基体间接触电阻测试的探头，其特征在于，用于银浆与基体间接触电阻测试的探头中，所有同轴探针的中心电极并联，且连接于外部电源的正极或负极；所有同轴探针的外部电极并联，且连接于外部电压表或电势差测试仪或高精度数字源表的正极或负极。

10.一种用于银浆与基体间接触电阻测试的测试装置，其特征在于，包括用于银浆与基体间接触电阻测试的探头，

用于银浆与基体间接触电阻测试的探头由所述同轴探针按照阵列排布而成，所述同轴探针按照阵列排布后的图案覆盖银浆与基体间接触电阻测试的图案；

所有同轴探针的中心电极并联，且连接于外部电源的正极或负极；所有同轴探针的外部电极并联，且连接于外部电压表或电势差测试仪或高精度数字源表的正极或负极。