[实用新型]一种适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜

权利要求书

1.一种适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜，其特征在于，包括沿激光入射方向的光轴上依次排列的第一透镜、第二透镜和第三透镜；其中，所述第一透镜和第二透镜为平凹透镜，且凹面都朝向激光入射方向；所述第三透镜为平凸透镜，凸面朝向激光出射方向。

2.根据权利要求1所述的适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜，其特征在于，所述扩束镜设计入射光斑直径尺寸为0.5～1mm，激光波长为355nm。

3.根据权利要求1所述的适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜，其特征在于，所述第一透镜包括S1和S2两个面，其中S1面为凹面，曲率半径R1＝-19mm；S2面为平面，曲率半径R2＝∞；两面之间光轴上的中心厚度d1＝2mm。

4.根据权利要求3所述的适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜，其特征在于，所述第二透镜包括S3和S4两个面，其中S3面为凹面，曲率半径R3＝-29mm；S4面为平面，曲率半径R4＝∞；两面之间光轴上的中心厚度d3＝2mm。

5.根据权利要求4所述的适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜，其特征在于，所述第三透镜包括S5和S6两个面，其中S5面为平面，曲率半径R5＝∞；S6面为凸面，曲率半径R6＝61mm；两面之间光轴上的中心厚度d5＝3mm。

6.根据权利要求5所述的适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜，其特征在于，第一透镜、第二透镜和第三透镜所用材料为融石英，其折射率Nd3＝1.46，阿贝数Vd3＝68。

7.根据权利要求1所述的适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜，其特征在于，所述第一透镜和第二透镜在光轴上的间距d2＝11.7～125.8mm；所述第二透镜和第三透镜在光轴上的间距d4＝79.8～96.4mm。

8.根据权利要求7所述的适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜，其特征在于，所述d2＝11.7mm，d4＝96.4mm时，紫外激光变倍扩束镜的扩束比为6倍；

所述d2＝30.7mm，d4＝91.7mm时，紫外激光变倍扩束镜的扩束比为7倍；

所述d2＝49.7mm，d4＝88.2mm时，紫外激光变倍扩束镜的扩束比为8倍；

所述d2＝68.7mm，d4＝85.5mm时，紫外激光变倍扩束镜的扩束比为9倍；

所述d2＝87.7mm，d4＝83.2mm时，紫外激光变倍扩束镜的扩束比为10倍；

所述d2＝106.8mm，d4＝81.4mm时，紫外激光变倍扩束镜的扩束比为11倍；

所述d2＝125.8mm，d4＝79.8mm时，紫外激光变倍扩束镜的扩束比为12倍。