[实用新型]一种可对残留硅粉进行清理的切片装置

说明书

本实用新型公开了一种可对残留硅粉进行清理的切片装置，涉及硅棒切片技术领域。本实用新型包括主体架，主体架的形状为三角形，主体架顶部内侧的一侧端角转动连接有主动转轮，主体架底部两个端角的内侧均转动连接有从动转轮，主动转轮与从动转轮的外侧装配有金刚石线，主体架的一端面装配有水雾除尘机构。本实用新型通过清洁液管、输液泵、第一输液管、第二输液管与喷液嘴配合，使得装置能够对金刚石线上残留的硅粉进行冲刷，避免硅粉残留影响切割效果，通过第一输气管、第二输气管、喷气嘴与输气泵配合，使得装置能够对金刚石线上残留的水渍与水渍内残留的硅粉吹除，更加方便使用。

技术领域

本实用新型属于硅棒切片技术领域，特别是涉及一种可对残留硅粉进行清理的切片装置。

背景技术

单晶硅片是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，单晶硅片在制作时需要使用金刚石线切片机对硅棒进行切片，但是现有的金刚石线切片机在切割硅棒之后金刚石线上会残留有硅粉，会影响下次的切割效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可对残留硅粉进行清理的切片装置，以解决了现有的问题：现有的金刚石线切片机在切割硅棒之后金刚石线上会残留有硅粉，会影响下次的切割效果。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种可对残留硅粉进行清理的切片装置，包括主体架，所述主体架的形状为三角形，所述主体架顶部内侧的一侧端角转动连接有主动转轮，所述主体架底部两个端角的内侧均转动连接有从动转轮，所述主动转轮与从动转轮的外侧装配有金刚石线，所述主体架的一端面装配有水雾除尘机构，所述主体架的另一端面装配有风力除尘机构。

进一步地，所述水雾除尘机构包括有第一固定座、清洁液管、输液泵、第一输液管、第二输液管与喷液嘴，所述第一固定座固定在主体架的一端面，所述第一固定座的内部固定有输液泵，所述输液泵的输入端固定有第一输液管，所述第一固定座的上表面通过连接杆固定有清洁液管，所述第一输液管的另一端与清洁液管连接，所述输液泵的输出端固定有第二输液管，所述第二输液管的一端固定有喷液嘴，且所述喷液嘴的输出端与金刚石线的移动路径对应。

进一步地，所述风力除尘机构包括有第二固定座、第一输气管、第二输气管、喷气嘴与输气泵，所述第二固定座固定在主体架的另一端面，所述第二固定座的内部固定有输气泵，所述输气泵的输入端固定有第一输气管，所述输气泵的输出端固定有第二输气管，所述第二输气管的一端固定有喷气嘴，所述喷气嘴的输出端与金刚石线的移动路径对应。

进一步地，所述主体架的一侧面固定有电机，所述电机的输出端与主动转轮连接，所述主体架的一侧面且位于电机的外侧固定有防护壳。

进一步地，所述主体架底端的两个端角均固定有支架，所述支架的底端装配有电动推杆，所述电动推杆的输出端与支架的底端连接，所述电动推杆的底端固定有底座。

进一步地，所述清洁液管的顶端设置有注液口，所述注液口处装配有密封塞。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过清洁液管、输液泵、第一输液管、第二输液管与喷液嘴配合，使得装置能够对金刚石线上残留的硅粉进行冲刷，避免硅粉残留影响切割效果。

2、本实用新型通过第一输气管、第二输气管、喷气嘴与输气泵配合，使得装置能够对金刚石线上残留的水渍与水渍内残留的硅粉吹除，更加方便使用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；