[实用新型]一种改进型多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种改进型多晶硅还原炉，包括炉筒和密封设于炉筒上的底盘，其特征在于，该还原炉还包括：

分别连通于炉筒底部的底部尾气管路和尾气二次进口管路；

连通于炉筒顶部的顶部尾气管路，且顶部尾气管路的另一端连接有第一支管和第二支管，第一支管和第二支管分别连接至尾气二次进口管路和底部尾气管路；所述顶部尾气管路和第二支管上分别设有第一调流阀和第二调流阀，通过第一调流阀和第二调流阀的开度大小共同调节底部尾气管路的尾气流量。

2.根据权利要求1所述的改进型多晶硅还原炉，其特征在于，所述顶部尾气管路上位于第一调流阀的出口侧连接有冷却水管，冷却水管上设有第三调流阀。

3.根据权利要求2所述的改进型多晶硅还原炉，其特征在于，所述顶部尾气管路上位于第一调流阀的进口侧设有温度计，通过温度计所监测的温度大小控制第三调流阀的开度大小。

4.根据权利要求1所述的改进型多晶硅还原炉，其特征在于，所述底部尾气管路上设有流量计，通过流量计所监测的流量大小控制第一调流阀和第二调流阀的开度大小。

5.根据权利要求1所述的改进型多晶硅还原炉，其特征在于，所述第一支管上设有增压泵。

6.根据权利要求1所述的改进型多晶硅还原炉，其特征在于，所述顶部尾气管路包括：

连接于炉筒顶部的夹套管，所述夹套管的内管与炉筒的内筒连通，且夹套管的外管与炉筒的夹套连通；

顶部尾气管，所述顶部尾气管与夹套管的内管连通。

7.根据权利要求6所述的改进型多晶硅还原炉，其特征在于，所述夹套管的外管上设有炉筒出水管，炉筒出水管连接有出水管；所述夹套管的内管与炉筒的内筒之间通过膨胀节连通。

8.根据权利要求1所述的改进型多晶硅还原炉，其特征在于，所述还原炉还包括：尾气进料环管，所述尾气进料环管的一侧通过多个尾气进料管连通至炉筒，另一侧并联连通有TCS原料气进管和H2原料气进管；

所述底部尾气管路包括尾气出料环管，所述尾气出料环管的一侧通过多个尾气管连通至炉筒，另一侧连通有尾气出料管且尾气出料管与第二支管连通。

9.根据权利要求8所述的改进型多晶硅还原炉，其特征在于，所述尾气出料管的出口连接有尾气总管，且尾气总管上设有第四调流阀。

10.根据权利要求1所述的改进型多晶硅还原炉，其特征在于，所述尾气二次进口管路包括尾气二次环管，所述尾气二次环管的一侧通过多个尾气二次管连通至炉筒，另一侧连通有尾气二次进料管且尾气二次进料管与顶部尾气管路连通。