[实用新型]一种PVD真空镀膜工装治具有效
| 申请号： | 202121250180.0 | 申请日： | 2021-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN216039799U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 付送安;刘小辉;刘仙林 | 申请（专利权）人： | 江苏腾玺裕金属制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 224248 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 真空镀膜 工装 | ||
1.一种PVD真空镀膜工装治具，包括底板（1）、第二支撑板（12）、第一支撑板（14）和盖板（7），其特征在于：所述底板（1）的上表面设置有若干个避位槽（5），所述避位槽（5）的内部贯穿设置有导流槽（11），所述导流槽（11）的两侧设置有第一定位孔（2），所述盖板（7）的上表面设置有若干个第三定位孔（6），所述第三定位孔（6）的两侧设置有第四定位孔（8），所述盖板（7）的下方设置有第二支撑板（12），且第二支撑板（12）位于底板（1）的上方，所述第二支撑板（12）的内侧设置有若干个支架（13）。
2.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜工装治具，其特征在于：所述第一定位孔（2）向上对应设置有第一支撑板（14），所述第一支撑板（14）的上表面设置有若干个第二定位孔（3）。
3.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜工装治具，其特征在于：所述导流槽（11）的两侧设置有流水孔（4），且流水孔（4）贯穿于底板（1）。
4.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜工装治具，其特征在于：所述第二支撑板（12）的外侧设置有若干个第五定位孔（10）。
5.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜工装治具，其特征在于：所述支架（13）上固定连接有若干个挂钩（9）。
6.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜工装治具，其特征在于：所述第三定位孔（6）与第二定位孔（3）相对应。
7.根据权利要求1所述的一种PVD真空镀膜工装治具，其特征在于：所述第四定位孔（8）与第六定位孔（15）、第一定位孔（2）相对应。
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