[实用新型]一种氮化铝陶瓷基板生产用流量调节阀有效
| 申请号： | 202121224048.2 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN215763352U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 杨大胜;施纯锡 | 申请（专利权）人： | 福建华清电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/38 | 分类号： | F16K1/38;F16K1/42;F16K27/02 |
| 代理公司： | 泉州市诚得知识产权代理事务所(普通合伙) 35209 | 代理人： | 赖开慧 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 陶瓷 生产 流量 调节 | ||
【权利要求书】：
1.一种氮化铝陶瓷基板生产用流量调节阀，包括阀体、阀盖、气动执行器以及控制器，其特征在于：所述阀体内设置有流量通道，阀体的两端分别设置进料口以及出料口，所述气动执行器的输出端连接一阀杆，所述阀杆穿过所述阀盖嵌置在所述阀体内，所述阀杆的端部安装有阀芯，所述阀体内设置有与所述阀芯密封连接的阀座，所述阀座的横截面呈弧形片状结构将所述流量通道分隔成上腔体与下腔体，所述上腔体与所述进料口连通，所述下腔体与出料口连通，所述阀芯包括设于下腔体内的下端堵头、连接在下端堵头上的锥台状的挡圈，所述阀座与下端堵头密封连接。
2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基板生产用流量调节阀，其特征在于：位于所述挡圈上端的所述阀杆上安装有用于防止所述下端堵头碰撞所述阀体的防撞圈。
3.根据权利要求2所述的氮化铝陶瓷基板生产用流量调节阀，其特征在于：位于所述阀盖上端的所述阀杆外套设有罩体，所述罩体内嵌置有隔音棉。
4.根据权利要求1或2或3所述的氮化铝陶瓷基板生产用流量调节阀，其特征在于：与所述阀芯相连接位置上的所述阀座上设有连接部，所述连接部的厚度大于阀座其余部分的厚度。
5.根据权利要求1或2或3所述的氮化铝陶瓷基板生产用流量调节阀，其特征在于：所述阀座与阀体一体成型。
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