[实用新型]一种光阑装置有效

专利信息
申请号: 202121189190.8 申请日: 2021-05-31
公开(公告)号: CN215064375U 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 王星星;赖勇 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24;G02B5/00;G02B26/08
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 光阑 装置
【权利要求书】:

1.一种光阑装置,其特征在于,包括:

移动组件(120),所述移动组件(120)包括旋转驱动单元(122);

光阑板(130),与所述移动组件(120)连接,所述光阑板(130)的表面至少部分位于激光照射区域内的表面设置有反射面(131),以将照射在所述光阑板(130)表面的激光进行反射;所述光阑板(130)能在所述旋转驱动单元(122)的驱动下转动。

2.根据权利要求1所述的光阑装置,其特征在于,所述移动组件(120)还包括平移驱动单元(121),所述旋转驱动单元(122)连接至所述平移驱动单元(121),所述平移驱动单元(121)能驱动所述旋转驱动单元(122)沿X方向及Z方向移动。

3.根据权利要求2所述的光阑装置,其特征在于,

所述平移驱动单元(121)包括第一平移驱动件(1211)及第二平移驱动件(1212),所述第一平移驱动件(1211)的驱动方向为Z方向,所述第二平移驱动件(1212)的驱动方向为X方向;所述第二平移驱动件(1212)为两个,两个所述第二平移驱动件(1212)均连接在所述第一平移驱动件(1211)的输出端;

所述旋转驱动单元(122)包括第一旋转驱动件(1221)及第二旋转驱动件(1222),所述第一旋转驱动件(1221)及所述第二旋转驱动件(1222)分别连接至两个所述第二平移驱动件(1212)的输出端;

所述光阑板(130)为两块,两块所述光阑板(130)分别连接至所述第一旋转驱动件(1221)及所述第二旋转驱动件(1222),两块所述光阑板(130)相对设置,以使两块所述光阑板(130)之间形成光阑狭缝。

4.根据权利要求3所述的光阑装置,其特征在于,与所述第一旋转驱动件(1221)连接的所述光阑板(130)在所述第一旋转驱动件(1221)的驱动下绕与Y方向平行的第一轴线(102)转动,与所述第二旋转驱动件(1222)连接的所述光阑板(130)在所述第二旋转驱动件(1222)的驱动下绕与Y方向平行的第二轴线(103)转动。

5.根据权利要求4所述的光阑装置,其特征在于,当所述光阑板(130)的旋转角度为0时,所述光阑板(130)与X方向及所述Y方向均平行,两块所述光阑板(130)的相对的一端的端面与X方向呈夹角设置,以使所述端面作为所述反射面(131),所述夹角大于0°小于90°。

6.根据权利要求5所述的光阑装置,其特征在于,所述夹角大于等于30°小于等于60°。

7.根据权利要求4所述的光阑装置,其特征在于,两块所述光阑板(130)的相对的一端的端面共同形成V形结构,所述V形结构的顶部宽度大于或等于激光照射区域的宽度。

8.根据权利要求1所述的光阑装置,其特征在于,所述反射面(131)为形成在所述光阑板(130)上的镜面抛光面。

9.根据权利要求1所述的光阑装置,其特征在于,还包括安装架(110),所述安装架(110)包括:

底座(111);

安装板(112),设于所述底座(111)上,且所述安装板(112)与Z方向及X方向均平行,所述移动组件(120)及所述光阑板(130)均设于所述安装板(112)上。

10.根据权利要求9所述的光阑装置,其特征在于,所述光阑装置还包括:

光吸收件(140),设于所述安装架(110)上,用于吸收所述反射面(131)反射的激光。

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