[实用新型]XYZ轴高速运转平台

权利要求书

1.XYZ轴高速运转平台，其特征在于：它包括机架（1）、Y轴移动架（2）、X轴模块以及Z轴模块，所述机架（1）至少一侧的侧壁上设置有Y轴直线电机（3），所述机架（1）的两侧均设置有第一直线导轨（4），所述Y轴移动架（2）的两端分别滑动配合在两组所述第一直线导轨（4）上，所述Y轴移动架（2）与所述Y轴直线电机（3）的动子连接，所述X轴模块固定设置在所述Y轴移动架（2）上，所述Z轴模块固定设置在所述X轴模块的活动端上，所述机架（1）上还设有平行于所述Y轴直线电机（3）设置的第一光栅尺（5），所述Y轴移动架（2）上设有与所述第一光栅尺（5）配合的第一光栅读头（6）。

2.根据权利要求1所述的XYZ轴高速运转平台，其特征在于：所述X轴模块包括X轴直线电机（7）以Z轴安装架（8），所述X轴直线电机（7）沿垂直于所述Y轴直线电机（3）的方向设置在所述Y轴移动架（2）上，所述Y轴移动架（2）上沿平行于所述X轴直线电机（7）的方向设置有第二直线导轨（9），所述Z轴安装架（8）滑动配合在所述第二直线导轨（9）上且与所述X轴直线电机（7）的动子连接。

3.根据权利要求2所述的XYZ轴高速运转平台，其特征在于：所述Y轴移动架（2）上还设有平行于所述X轴直线电机（7）的第二光栅尺（10），所述Z轴安装架（8）上设置有与所述第二光栅尺（10）配合的第二光栅读头（11）。

4.根据权利要求2所述的XYZ轴高速运转平台，其特征在于：所述Z轴模块包括驱动电机（12）以及活动板件（13），所述驱动电机（12）固定在所述Z轴安装架（8）上，所述Z轴安装架（8）上沿竖直方向设置有第三直线导轨（14），所述活动板件（13）滑动配合在所述第三直线导轨（14）上，所述驱动电机（12）的输出轴上连接有丝杆（15），所述活动板件（13）上设置有与所述丝杆（15）相适配的滚珠螺母。

5.根据权利要求2所述的XYZ轴高速运转平台，其特征在于：所述Y轴移动架（2）上设置有两组到位传感器（16），所述Z轴安装架（8）上设置有与所述到位传感器（16）相适配的感应片（17），两组所述到位传感器（16）分别设置在所述Z轴安装架（8）的行程限位处。