[实用新型]一种集成有太赫兹光电导天线的双层微流控芯片

权利要求书

1.一种集成有太赫兹光电导天线的双层微流控芯片，其特征在于，包括通过双面胶贴片(13)粘合在一起的基片(2)和盖片(3)；双面胶贴片(13)包括一端开口的方框结构贴片以及设置在开口处的方形贴片；方形贴片与方框结构贴片内部三个侧面留有空隙，形成微流控通道，两侧的两个空隙分别形成进液通道(11)和出液通道(12)，中间的空隙形成探测区(10)；粘合在一起的基片(2)和盖片(3)的两个外表面分别设置有中心对准的第一太赫兹光电导天线(4)和第二太赫兹光电导天线(7)；基片(2)和盖片(3)均采用石英玻璃制作。

2.如权利要求1所述的一种集成有太赫兹光电导天线的双层微流控芯片，其特征在于，基片(2)上第一太赫兹光电导天线(4)的两侧分别通过粘贴的第一铜片(5)和第二铜片(6)将电极引出。

3.如权利要求1所述的一种集成有太赫兹光电导天线的双层微流控芯片，其特征在于，盖片(3)上第二太赫兹光电导天线(7)的两侧分别通过粘贴的第三铜片(8)和第四铜片(9)将电极引出。

4.如权利要求1所述的一种集成有太赫兹光电导天线的双层微流控芯片，其特征在于，第一太赫兹光电导天线(4)和第二太赫兹光电导天线(7)均采用LT-GaAs薄膜制作。

5.如权利要求1所述的一种集成有太赫兹光电导天线的双层微流控芯片，其特征在于，双面胶贴片(13)厚度为0.2mm。