[实用新型]一种缓蚀剂性能评价装置

权利要求书

1.一种缓蚀剂性能评价装置，其特征在于，该缓蚀剂性能评价装置主要由：底座(1)、悬臂(2)以及评价机构组合而成，所述悬臂(2)的一端与所述底座(1)连接，所述悬臂(2)的另一端置于所述底座(1)的正上方，所述评价机构设置在所述悬臂(2)的顶端。

2.根据权利要求1所述的一种缓蚀剂性能评价装置，其特征在于，所述评价机构主要由：流体管(3)、加注口(5)以及评价器(6)组合而成，所述流体管(3)设置在所述悬臂(2)的顶部，所述评价器(6)通过管道与所述流体管(3)连接，所述加注口(5)设置在所述管道上。

3.根据权利要求2所述的一种缓蚀剂性能评价装置，其特征在于，所述管道上设有流量阀(4)，所述流量阀(4)设置在所述流体管(3)与所述加注口(5)之间。

4.根据权利要求3所述的一种缓蚀剂性能评价装置，其特征在于，所述底座(1)上设有连接口。

5.根据权利要求4所述的一种缓蚀剂性能评价装置，其特征在于，所述评价器(6)的一端与所述管道连接，所述评价器(6)的另一端与所述连接口连接。

6.根据权利要求5所述的一种缓蚀剂性能评价装置，其特征在于，所述评价器(6)分为：上接头(61)、下接头(62)以及更换部(63)，所述上接头(61)与所述管道连接，所述下接头(62)与所述连接口连接，所述更换部(63)的一端与所述上接头(61)可拆卸连接，所述更换部(63)的另一端与所述下接头(62)可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的一种缓蚀剂性能评价装置，其特征在于，所述更换部(63)的内部设有式样片(631)。